|
Detekce signálu v rastrovacím elektronovém mikroskopu pomocí detektorů sekundárních elektronů
Konvalina, Ivo ; Hovorka, Miloš ; Dvořáková, Marie ; Müllerová, Ilona
Detekce sekundárních elektronů byla studována v mikroskopech, kde magnetické pole objektivu proniká k povrchu vzorku a v uspořádání bez magnetického pole v oblasti vzorku. Sběrová účinnost detektorů sekundárních elektronů je závislá na jejich energiové a úhlové citlivosti, která je ovlivněná rozložením magnetických a elektrostatických polí v okolí vzorku. Byly provedeny simulace a vyhodnocení trajektorií sekundárních elektronů v závislosti na jejich energii a úhlovém rozložení. Na základě vypočtené sběrové účinnosti byly porovnány detektory sekundárních elektronů v daném uspořádání. Pro potvrzení simulací posloužil vzorek s částicemi zlata na uhlíku.
|
| |
| |
| |
| |
| |