Název: Signal Collection with Secondary Electron Detectors in SEM
Překlad názvu: Detekce signálu v rastrovacím elektronovém mikroskopu pomocí detektorů sekundárních elektronů
Autoři: Konvalina, Ivo ; Hovorka, Miloš ; Dvořáková, Marie ; Müllerová, Ilona
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /11./, Skalský dvůr (CZ), 2008-07-14 / 2008-07-18
Rok: 2008
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
The collection of secondary electrons (SE) was studied for microscopes where the magnetic field penetrates to the specimen surface and for the arrangement with the specimen region free of magnetic field. Collection efficiency of secondary electron detectors varies with their energy and angular sensitivity connected with electrostatic and magnetic field distribution in the specimen region which influences the contrast of SE images. The trajectories of SE with regard to their energy, angular distributions are simulated and secondary electron detectors compared on the basis of calculated collection efficiency. For the verification of the simulated data the standard resolution-testing specimen with Au particles on a carbon substrate was used. Detekce sekundárních elektronů byla studována v mikroskopech, kde magnetické pole objektivu proniká k povrchu vzorku a v uspořádání bez magnetického pole v oblasti vzorku. Sběrová účinnost detektorů sekundárních elektronů je závislá na jejich energiové a úhlové citlivosti, která je ovlivněná rozložením magnetických a elektrostatických polí v okolí vzorku. Byly provedeny simulace a vyhodnocení trajektorií sekundárních elektronů v závislosti na jejich energii a úhlovém rozložení. Na základě vypočtené sběrové účinnosti byly porovnány detektory sekundárních elektronů v daném uspořádání. Pro potvrzení simulací posloužil vzorek s částicemi zlata na uhlíku.
Klíčová slova: collection efficiency; detectors; secondary electrons; SEM
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), KJB200650602 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 11th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 978-80-254-0905-3

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0165653

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-39451


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference