Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 6 záznamů.  Hledání trvalo 0.00 vteřin. 
Zobrazování s vysokým rozlišením pomocí zpětně odražených elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu
Wandrol, Petr ; Matějková, Jiřina ; Rek, Antonín
Článek se zabývá vysokorozlišovacím zobrazováním pomocí zpětně odražených elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Jsou nastíněny různé detekční systémy zpětně odražených elektronů. Zvláštní pozornost je věnována scintilačnímu BSE detektoru s monokrystalickým scintilátorem YAG. Na závěr jsou prezentovány obrázky různých vzorků o vysokém rozlišení pořízené tímto detektorem.
Zobrazování nevodivých vzorků pomocí nízkoenergiových zpětně odražených elektronů v SEM
Wandrol, Petr
Článek se zabývá problémy zobrazování nevodivých vzorků v SEM, které jsou způsobovány především jejich nabíjením. Použití nízké energie primárního svazku a pozorování pomocí zpětně odražených elektronů bylo navrženo pro potlačení nábojových artefaktů v obraze. Dále je popsán nově vyvinutý detektor zpětně odražených elektronů pro nízkoenrgiovou SEM a jsou prezentovány obrázky nepokovených nevodivých vzorků bez nábojových artefaktů pořízené tímto detektorem.
Pozorování nevodivých nano-struktur v rastrovacím elektronovém mikroskopu
Wandrol, Petr ; Mika, Filip
Práce se zabývá pozorováním nevodivých vzorků v rastrovacím elektronovém mikroskopu metodou nalezení kritické energie pomocí katodové čočky a detektorem nízkoenergiových zpětně odražených elektronů. Obě metody jsou detailně popsány a jejich výhody jsou ukázány na zobrazení rozličných nevodivých vzorků.
Nový detektor zpětně odražených elektronů pro nízkonapěťový SEM
Wandrol, Petr ; Autrata, Rudolf
Práce se zabývá popisem nového scintilačního detektoru zpětně odražených elektronů pro nízkonapěťový rastrovací elektronový mikroskop.
Detekce signálních elektronů v nízkonapěťové SEM
Wandrol, Petr ; Müllerová, Ilona
Práce se zabývá detekcí signálních elektronů v SEM při energiích primárního svazku 3 keV a nižších. Zvláštní zřetel je brán na detekci zpětně odražených elektronů, která je při nízkých energiích primárního svazku problematická.
Pozorování vícevrstvých polovodičových struktur v rastrovacím elektronovém mikroskopu
Wandrol, Petr ; Matějková, Jiřina ; Autrata, Rudolf
Práce se zabývá problémy vznikajícími při pozorování polovodičových vzorků v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Zvláštní pozornost je věnována scintilačnímu detektoru zpětně odražených elektronů, který je pro tento účel velmi vhodný. Jednak díky možnosti pozorovat materiálový kontrast vzorku a tím přesně rozlišit jednotlivé vrstvy vzorku. A také protože se při snímání obrazu tímto detektorem neprojevuje tolik nabíjení méně vodivých vrstev vzorku, jako u detektorů sekundárních elektronů.

Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.