|
|
Tenké vrstvy připravené v RF doutnavém výboji a jejich fyzikálně-chemické vlastnosti
Bránecký, Martin ; Boušek, Jaroslav (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Diplomová práca je v teoretickej časti zameraná na literárnu rešerš zaoberajúcou sa tvorbou tenkých vrstiev, plazmou, analýzou plazmy pomocou hmotnostnej spektrometrie a plazmovou polymerizáciou. Ďalej táto časť popisuje analýzu tenkých vrstiev pomocou optických metód spektroskopickej elipsometrie a FT-IR spektroskopie. Experimentálna časť práce popisuje materiály používané pri príprave tenkých vrstiev ako aj popis aparatúry, ktorá slúži pre prípravu tenkých vrstiev technológiou plazmochemickej depozície z plynnej fázy (PE CVD). Presné monitorovanie a riadenie depozičných podmienok, monitorovanie plazmy a jej produktov hmotnostnou spektrometriou zabezpečia vysokú reprodukovateľnosť prípravy tenkých vrstiev. Posledná časť práce popisuje výsledky merania skupiny vzoriek vytvorených tenkých vrstiev a ich vyhodnotenie elipsometrom, hmotnostným spektrometrom a FT-IR spektroskopom s ohľadom na depozičné podmienky.
|
|
|
Příprava a optické vlastnosti tenkých vrstev a vrstevnatých struktur pomocí plazmochemické depozice
Kucharčík, Jan ; Boušek, Jaroslav (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Diplomová práce je v teoretické části zaměřena na popis principu spektroskopické elipsometrie a tvorbu tenkých vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD). V experimentální části je popsán depoziční systém, elipsometr a vyhodnocení změřených dat, materiály použité pro přípravu vzorků a průběh výroby vzorků. Byly připravovány jak jednoduché tak vícevrstvé struktury polymerních materiálů. Výsledky práce neprokázaly závislost optických vlastností materiálu na tloušťce vrstvy. Jsou zde popsány vlivy efektivního výkonu a depozičních směsí plynů na optické vlastnosti vrstev.
|
|
|
Mechanická odezva dlouhými vlákny vyztuženého polymerního kompozitu
Škriniarová, Nina ; Prokeš, Jan (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Tato diplomová práce je zaměřena na sledování mechanické odezvy dlouhými vlákny vyztuženého polymerního kompozitu. Součástí této práce byla příprava testovacích tělísek polymerního kompozitu, jehož matrice byla vyztužena komerčně upravenými skleněnými vlákny a pro porovnání byla připravena i tělíska z povrchově neupravených skleněných vláken. Kromě přípravy tělísek obsahujících dlouhá skleněná vlákna byla připravena i tělíska obsahující dlouhá uhlíková vlákna. Pro sledování mechanické odezvy připravených kompozitních tělísek byla použita smyková a ohybová zkouška. Mechanická odezva připravených tělísek byla vyhodnocena pomocí univerzálního testovacího přístroje ZWICK Z010 a data byla zpracována a vyhodnocena v programu OriginPro 8. Díky vyhodnocení mechanické odezvy připravených testovacích tělísek byla posouzena adheze na rozhraní vlákno-matrice. Posouzením této mechanické odezvy respektive adheze lze posoudit i efektivitu komerční povrchové úpravy vláken a standardizovat měření pro porovnání dalších možností povrchových úprav.
|
|
|
Plasma-enhanced chemical vapor deposition using TVS/Ar and TVS/O2 mixtures
Sadílek, Jakub ; Salyk, Ota (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
This study is aimed at basic research on a-SiC:H and a-SiOC:H alloys prepared in a form of thin films using plasma-enhanced chemical vapor deposition. These alloys were deposited from tetravinylsilane monomer and its mixtures with argon or oxygen gas at different effective powers under pulsed plasma. Deposited films were investigated by X-ray photoelectron spectroscopy, Fourier transform infrared spectroscopy, spectro-scopic ellipsometry, and nanoindentation to observe their chemical, optical, and me-chanical properties as a function of deposition conditions.
|
|
|
Plazmochemické zpracování vláknových výztuží pro polymerní kompozity
Knob, Antonín ; Lapčík, Ĺubomír (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Tato práce je zaměřena na depozici tenkých vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD) na skleněná vlákna při použití monomeru tetravinylsilanu. Připravené plazmatické polymerní vrstvy byly použity jako mezivrstvy pro řízenou mezifázi polymerních kompozitů s matricí z nenasycené polyesterové pryskyřice. Charakter tenkých vrstev a jejich výsledné chemické a mechanické vlastnosti byly řízeny pomocí efektivního výkonu. Adheze na rozhraní vlákno-matrice a posouzení vlivu mezivrstvy na mechanické vlastnosti připravených kompozitních vzorků byly charakterizovány pomocí mikroindentačního měření mezifázové smykové pevnosti systémem ITS a skenovací elektronovou mikroskopií.
|
|
|
Surface analysis of xGnP/PEI nanocomposite
Červenka, Jiří ; Klapetek, Petr (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
This Diploma thesis deals with surface analysis of nanocomposite foil – polyetherimide matrix (PEI) reinforced by exfoliated graphite nanoplatelets (xGnP). The PEI foil without reinforcement and separate xGnP particles were also analysed. Samples of the nanocomposite and the PEI foil were etched for various times by argon plasma. Scanning electron microscopy (SEM) was used to characterize xGnP agglomerates dispersed over silicon wafer and pristine/etched samples of PEI foil and nanocomposite xGnP/PEI foil. Graphite nanoplatelets were identified at surface of etched nanocomposite foil. Atomic force microscopy (AFM) was used for surface topography imaging of separate nanoplatelets and those uncovered at the surface of etched nanocomposite. Surface roughness (root mean square, peak to peak) of etched nanocomposite increased with prolonged etching time. Atomic force acoustic microscopy (AFAM) was used to characterize elastic anisotropy of etched nanocomposite. Nanoindentation measurements were employed to characterize the local mechanical properties of PEI and nanocomposite foils.
|
|
|
Plazmochemická depozice vrstev z plynné fáze
Žák, Luboš ; Salyk, Ota (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Diplomová práce se v teoretické části zaměřuje na rešerši současného stavu poznání v oblasti plazmatu, plazmové polymerace a charakterizace tenkých vrstev mikroskopickými a spektroskopickými technikami. Experimentální část popisuje technologii plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD) a vybrané analytické techniky. Vysoká reprodukovatelnost přípravy vrstev je zabezpečena přesným řízením depozičních podmínek, monitorováním plazmatu a analýzou plazmových produktů při použití hmotnostní spektrometrie. Výsledky práce prokázaly souvislost mezi složením, chemickou strukturou, optickými vlastnostmi, mechanickými vlastnostmi materiálu a efektivním výkonem použitým pro depozici vrstev.
|
|
|
Adhesion characterization of thin plasma-polymer films
Pálesch, Erik ; Klapetek, Petr (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
The diploma thesis deals with characterization of adhesion of plasma polymer films deposited on silicon wafers. The samples included organosilicon thin films based on tetravinylsilane monomer prepared by plasma-enhanced chemical vapour deposition. Scratch test was used to characterize film adhesion employing nanoindentation measurements. Adhesion of plasma polymer films of different mechanical properties and film thickness was analyzed by normal and lateral forces, friction coefficient, and scratch images obtained by scanning probe microscope working in atomic force microscopy mode.
|
|
|
Samovolně seskupené vrstvy na bázi křemíku
Bábík, Adam ; Veselý, Michal (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Byla studována problematika přípravy, charakterizace a vlastností samovolně seskupených monovrstev na bázi křemíku se zaměřením na SA monovrstvy připravené z vinyltriethoxysilanu a vinyltrichlorsilanu. Práce je zaměřena na základní vlastnosti SA monovrstev a popis jejich vzniku. Uvedeny jsou rovněž metody pro analýzu SA monovrstev. Podrobněji je popsáno měření kontaktního úhlu a stanovení volné povrchové energie. Připravené SA vrstvy byly zkoumány z hlediska složení a uspořádání jejich povrchu pomocí rentgenové fotoelektronové spektroskopie (XPS), elipsometrie a mikroskopie atomových sil (AFM).
|
|
|
Příprava vrstevnatých struktur technologií PE CVD
Hoferek, Lukáš ; Krčma, František (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Tato práce je zaměřena na přípravu a charakterizaci tenkých vrstev připravených metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PE-CVD) na plošný substrát z křemíku. Součástí práce byla rozsáhlá charakterizace depozičního systému s cílem nalezení vhodných depozičních podmínek. Následně byly připravovány jednoduché a vrstevnaté tenké polymerní struktury z par monomeru tetravinylsilanu. Depoziční průběh byl monitorován spektroskopickou elipsometrií a hmotnostní spektroskopií. Připravené tenké vrstvy byly charakterizovány mikroskopickými a spektroskopickými technikami. Stanovené fyzikální a chemické vlastnosti připravených struktur byly sledovány s ohledem na depoziční podmínky a fragmentaci molekuly monomeru v nízkoteplotním plazmatu.
|
host ::
RSS.