|
|
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Odehnal, Adam ; Špinka, Jiří (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Práce pojednává o teoretických poznatcích z oblasti rastrovací elektronové mikroskopie a environmentální rastrovací elektronové mikroskopie. Popisuje princip činnosti, signály vznikající při interakci primárního svazku elektronů se vzorkem a způsob detekce signálu sekundárních elektronů v environmentálních podmínkách pomocí scintilačního detektoru. Dále se práce zaměřuje na optimalizaci detekce sekundárních elektronů pomocí úprav elektrodového systému scintilačního detektoru. K úpravě je využit počítačový program Simion, kterým jsou modelovány trajektorie signálních elektronů v elektrostatických polích uvnitř detektoru. Provedené simulace byly východiskem pro konstrukční úpravy detektoru. Detekční účinnost upraveného detektoru byla určena popsanou metodou z vyhodnocení velikosti signálu z pořízených snímků, schopnost detekovat sekundární elektrony z napěťového kontrastu a kvalita snímků z poměru signálu k šumu.
|
|
| |
|
|
Konstrukce oddělovacího ventilu trysky pro rastrovací elektronový mikroskop
Hoffman, Petr ; Navrátil, Václav (oponent) ; Foltýnová, Dana (vedoucí práce)
Cílem této bakalářské práce je návrh a následná konstrukce vakuového oddělovacího ventilu pro rastrovací elektronový mikroskop. V úvodu práce jsou popsány funkce oddělovacího ventilu. Funkce rastrovacího elektronového mikroskopu je popsána v přehledu současného stavu poznání. Následují tři koncepční návrhy ventilu, jejich popis, výhody a nevýhody. Na základě porovnání bylo vybráno nejvhodnější řešení. V práci je dále proveden silový rozbor zvolené varianty. V závěru práce je navržena celá konstrukce a zpracovaná výkresová dokumentace ventilu.
|
|
|
Optimalizace UHV SEM pro studium nanostruktur v širokém rozsahu teplot
Axman, Tomáš ; Zigo,, Juraj (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Předkládaná diplomová práce se zabývá optimalizací ultravakuového elektronového mikroskopu – UHV SEM, který je vyvíjen v rámci projektu Amispec ve spolupráci VUT, ÚPT AV ČR a firmy Tescan Brno, s.r.o. Teoretická část se zabývá popisem současného stavu vyvíjeného zařízení a rešerší konkurenčních systémů. Další část popisuje optimalizaci nosiče vzorku a receptoru paletek pro studium nanostruktur v širokém rozsahu teplot. Součástí optimalizace je i vývoj safírové tepelné diody a experimentální ověření funkčnosti navržených součástí. Následuje ověření funkčnosti celého zakládacího systému transportu vzorků do oblasti s UHV, depozice pomocí efuzní cely a pozorování in situ.
|
|
|
Teplotní stabilita naprašovaných vrstev oxidu yttria
Kršňák, Jiří ; Boušek, Jaroslav (oponent) ; Hégr, Ondřej (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá chováním naprášené tenké vrstvy oxidu yttria po teplotním namáhání. V rámci řešení byly deponovány tenké vrstvy oxidu yttria na křemíkové substráty, které byly vystavovány různým cyklům teplotního namáhání. Testované struktury byly zkoumány před a po teplotním namáhání z hlediska stability povrchové topografie za pomoci elektronové mikroskopie.
|
|
| |
|
|
Vliv pracovních podmínek na velikost signálu získaného pomocí BSE detektoru
Bednář, Eduard ; Zimáková, Jana (oponent) ; Čudek, Pavel (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá zhodnocením kvality signálu zpětně odražených elektronů detekovaných scintilačním detektorem v závislosti na nastavených pracovních podmínkách v nízkovakuovém rastrovacím elektronovém mikroskopu. V teoretické části práce je popsána problematika enviromentální rastrovací elektronové mikroskopie, princip vzniku signálů a detekce zpětně odražených elektronů. Cílem experimentální části práce je měření vlastností scintilačního detektoru zpětně odražených elektronů. Sérií experimentů je vyhodnocován vliv pracovních podmínek na stabilitu a funkci detektoru zpětně odražených elektronů.
|
|
|
Konstrukce oddělovacího ventilu trysky pro rastrovací elektronový mikroskop
Hoffman, Petr ; Navrátil, Václav (oponent) ; Foltýnová, Dana (vedoucí práce)
Cílem této bakalářské práce je návrh a následná konstrukce vakuového oddělovacího ventilu pro rastrovací elektronový mikroskop. V úvodu práce jsou popsány funkce oddělovacího ventilu. Funkce rastrovacího elektronového mikroskopu je popsána v přehledu současného stavu poznání. Následují tři koncepční návrhy ventilu, jejich popis, výhody a nevýhody. Na základě porovnání bylo vybráno nejvhodnější řešení. V práci je dále proveden silový rozbor zvolené varianty. V závěru práce je navržena celá konstrukce a zpracovaná výkresová dokumentace ventilu.
|
|
|
Analysis and characterisation of spirally-arranged field-emission nanostructure
Ondříšková, Martina ; Sobola, Dinara (oponent) ; Knápek, Alexandr (vedoucí práce)
Cathodes containing arrays of high aspect ratio field emitters are of great interest as sources of electron beams for vacuum electronic devices. The desire to maximize current and current density leads to the design of denser arrays. However, denser arrays lead to undesirable field shielding effects caused by the presence of surrounding emitters in the array. To reduce the shielding effect and thus maximize the field enhancement, an array of emitters was designed with an arrangement inspired by the natural phenomenon of phyllotaxis. The structure thus designed was created using electron beam lithography and reactive ion etching to form micropillars. A black silicon etching technique was used to create ultra-sharp tips with a radius in the order of tens of nanometers on the top of each micropillar. Analysis of the sample topography was performed by Scanning electron microscopy. Ultraviolet photoelectron spectroscopy was used to determine the work function. To find out the emission properties of the fabricated structures, a Field emission microscope was constructed and its electron gun was modified to experimentally use the fabricated structure as the cathode. A Murphy-Good plot was used to analyze the field emission data, to which the orthodoxy test was applied to check the validity of the experimental I-V data. Current stability measurement was performed to observe current fluctuations.
|
|
|
Výroba a charakterizace plazmonických antén na zvolené tenké vrstvě s cílem získat zesílenou absorbci díky přítomnosti silné vazby
Vodička, Martin ; Kepič, Peter (oponent) ; Liška, Jiří (vedoucí práce)
Systémy se silnou vazbou nabízí mnoho významných aplikací v různých oblastech, například fotonice, chemii, nelineární optice a dalších. Tato bakalářká práce je zaměřena na výrobu kovových plazmonických struktur vhodných pro vznik silné vazby mezi lokalizovanými povrchovými plazmony antén a fonony tenké vrstvy hexagonálního nitridu boru (hBN) v infračervené oblasti. V případě navození silné vazby by mělo dojít ke zvýšení absorpce, díky které lze tento systém použít na výrobu detektoru infračerveného záření, tzv. mikrobolometru. Práce shrnuje důležité poznatky z teorie elektromagnetického pole, popisuje vznik silné vazby z pohledu klasické fyziky a uvádí příklady systémů se silnou vazbou. Dále je teoreticky popsán vznik povrchových plazmonových polaritonů a lokalizovaných povrchových plazmonů (LPP). V práci jsou popsány plazmonické antény, jejich výroba, aplikace a fyzikální vlastnosti hBN. V rámci praktické části byla realizována výroba plazmonických antén pod nebo na tenké vrstvě hBN. Vyrobené vzorky byly charakterizovány rastrovacím elektronovým mikroskopem a spektrální odezva byla změřena infračervenou spektroskopií s Fourierovou transformací. Ve spektrech byla potvrzena absorpce hBN na 7,3 m a naměřena další minima propustnosti odpovídající přítomnosti antén. Přítomnost silné vazby mezi LPP antén a fonony nativní vrstvy SiO2 byla pravděpodobně pozorována. Zdali došlo k silné vazbě mezi LPP antén a fonony hBN nelze ze získaných výsledků usuzovat.
|
host ::
RSS.