|
|
Chemická analýza a-CSi:H a a-CSiO:H vrstev
Olivová, Lucie ; Franta, Daniel (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Plazmochemická depozice z plynné fáze je perspektivní technologií pro přípravu materiálů ve formě tenkých vrstev s řízenými fyzikálně-chemickými vlastnostmi, které mohou být dle potřeby ovlivněny změnou vstupních prekurzorů či depozičních podmínek. V této práci byla plazmová nanotechnologie využita k syntéze tenkých vrstev na křemíkových substrátech. Jako prekurzor pro syntézu vrstev byl vybrán tetravinylsilan. Kromě čistého tetravinylsilanu byly jako vstupní prekurzory pro depozici vrstev využity také směsi tetravinylsilanu s argonem a směsi tetravinylsilanu s kyslíkem, a to v různém poměru zastoupení jednotlivých komponent v depoziční směsi. Pomocí chemických analýz, konkrétně infračervené spektroskopie, fotoelektronové spektroskopie a vybraných iontových technik, byla podrobně zkoumána chemická struktura připravených vrstev a byla sledována závislost této struktury na použitých depozičních podmínkách a vstupních prekurzorech. V práci bylo potvrzeno, že změnou efektivního výkonu dodávaného do výboje plazmatu a zvolením různých vstupních prekurzorů je možné řídit chemickou strukturu, a tedy i vlastnosti připravovaných nanovrstev.
|
|
|
Chemická struktura tenkých vrstev na bázi křemíku
Olivová, Lucie ; Franta, Daniel (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá charakterizací a přípravou tenkých polymerních vrstev na křemíkové substráty metodou plazmochemické depozice z plynné fáze. Hlavní součástí práce je literární rešerše z oblasti plazmové polymerace a infračervené spektroskopie. V experimentální části byly připraveny tenké polymerní vrstvy na bázi tetravinylsilanu a tetravinylsilanu s přídavkem směsného plynu (argonu). Připravené tenké vrstvy plazmových polymerů byly charakterizovány pomocí vybrané spektroskopické techniky - infračervené spektroskopie. Na základě vyhodnocení transmisních infračervených spekter byla určena chemická struktura vytvořených polymerních vrstev. Stanovené chemické struktury připravených vrstev byly sledovány s ohledem na depoziční podmínky a tedy i na možnost přípravy materiálů na míru pro nejrůznější použití.
|
|
|
Chemická analýza a-CSi:H a a-CSiO:H vrstev
Olivová, Lucie ; Franta, Daniel (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Plazmochemická depozice z plynné fáze je perspektivní technologií pro přípravu materiálů ve formě tenkých vrstev s řízenými fyzikálně-chemickými vlastnostmi, které mohou být dle potřeby ovlivněny změnou vstupních prekurzorů či depozičních podmínek. V této práci byla plazmová nanotechnologie využita k syntéze tenkých vrstev na křemíkových substrátech. Jako prekurzor pro syntézu vrstev byl vybrán tetravinylsilan. Kromě čistého tetravinylsilanu byly jako vstupní prekurzory pro depozici vrstev využity také směsi tetravinylsilanu s argonem a směsi tetravinylsilanu s kyslíkem, a to v různém poměru zastoupení jednotlivých komponent v depoziční směsi. Pomocí chemických analýz, konkrétně infračervené spektroskopie, fotoelektronové spektroskopie a vybraných iontových technik, byla podrobně zkoumána chemická struktura připravených vrstev a byla sledována závislost této struktury na použitých depozičních podmínkách a vstupních prekurzorech. V práci bylo potvrzeno, že změnou efektivního výkonu dodávaného do výboje plazmatu a zvolením různých vstupních prekurzorů je možné řídit chemickou strukturu, a tedy i vlastnosti připravovaných nanovrstev.
|
|
|
Chemická struktura tenkých vrstev na bázi křemíku
Olivová, Lucie ; Franta, Daniel (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá charakterizací a přípravou tenkých polymerních vrstev na křemíkové substráty metodou plazmochemické depozice z plynné fáze. Hlavní součástí práce je literární rešerše z oblasti plazmové polymerace a infračervené spektroskopie. V experimentální části byly připraveny tenké polymerní vrstvy na bázi tetravinylsilanu a tetravinylsilanu s přídavkem směsného plynu (argonu). Připravené tenké vrstvy plazmových polymerů byly charakterizovány pomocí vybrané spektroskopické techniky - infračervené spektroskopie. Na základě vyhodnocení transmisních infračervených spekter byla určena chemická struktura vytvořených polymerních vrstev. Stanovené chemické struktury připravených vrstev byly sledovány s ohledem na depoziční podmínky a tedy i na možnost přípravy materiálů na míru pro nejrůznější použití.
|
host ::
RSS.