|
| |
|
|
Příprava grafenových vrstev metodou MBE
Čalkovský, Martin ; Bábor, Petr (oponent) ; Mach, Jindřich (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá tvorbou grafenových struktur metodou molekulární svazkové epitaxe (MBE). V teoretické části je stručně popsán materiál grafen, jeho vlastnosti, možnosti výroby a způsoby detekce. Detailněji je provedena rešeršní studie přípravy grafenových struktur metodou MBE. V experimentální části této bakalářské práce je provedena optimalizace sublimačního zdroje atomů uhlíku a proměření jeho vlastností. Dále jsou popsány experimenty přípravy grafenových struktur na Cu a Ge substráty. Přítomnost grafenových struktur je ověřována ramanovou spektroskopií.
|
|
|
Testing of the new UHV scanning electron microscope and design of its effusion cel
Šárközi, Rudolf ; Mach, Jindřich (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
This work focus on the development and the design of the effusion cell that is able to deposit different materials in downward orientation. The Cell itself should be placed into the ultra-vacuum microscope (UHV-SEM) developed in TESCAN company in the collaboration with Institute of Physical Engineering. Theoretical part is devoted to the description of the electron microscope and its, in the future installed, parts, which will be used for the preparation and the analysis of the nanostructures. In this work, the first measurements with the electron microscope are presented, and the influence of mechanical vibrations to image quality is discussed.
|
|
|
Návrh aparatury pro VF plasmové leptání
Bárdy, Stanislav ; Bábor, Petr (oponent) ; Mach, Jindřich (vedoucí práce)
Táto bakalárska práca sa zaoberá návrhom aparatúry na vysokofrekvenčnú (VF) indukčne viazanú plazmu. V teoretickej časti je rešerne spracované čistenie grafénových povrchov plazmovým leptaním, ďalej sú popísané metódy generovania plazmového výboja a návrh VF elektrického obvodu. Praktická časť sa zaoberá samotnou konštrukciou aparatúry a vyrovnávacej jednotky, optickou diagnostikou plazmového výboja a meraním parametrov leptania PMMA (rýchlosť leptania, drsnosť) použitím spektroskopickej reflektometrie a mikroskopie atomárnych síl.
|
|
|
Návrh nového termálního disociačního zdroje kyslíkových atomů
Šikula, Marek ; Bábor, Petr (oponent) ; Mach, Jindřich (vedoucí práce)
Pomocí atomárních zdrojů kyslíku se vyrábí a studují ultratenké oxidové vrstvy, především tzv. high-k vrstvy. Ty jsou základem CMOS tranzistorů a DRAM kondenzátorů. Tato práce zpracovává teorii atomárních svazků kyslíku a způsoby jejich získání. Na základě těchto podkladů je vytvořen konstrukční návrh unikátního typu disociačního atomárního zdroje kyslíku. Návrh byl testován jednoduchými experimenty. Dale je vypracován 3D model zdroje a kompletní výkresová dokumentace.
|
|
| |
|
|
Modernizace UHV manipulátoru pro metody SIMS a LEIS
Dao, Tomáš ; Polčák, Josef (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce pojednává o konstrukci manipulátoru pracujícího v podmínkách ultravysokého vakua. První část práce je věnována původnímu návrhu manipulátoru se šesti stupni volnosti, jeho provedení a realizaci. Druhá část se zabývá úpravami manipulátoru. Diskutovány jsou výhody a nevýhody konstrukčních řešení a na základě provozu jsou navrženy úpravy manipulátoru a příslušenství. Hlavní pozornost je věnována návrhu řešení rotace vzorku pomocí krokového motorku pracujícího přímo v ultravysokém vakuu. V rámci úprav je také navržena a testována nová Faradayova sonda pro použití na manipulátoru. V poslední části je s využitím manipulátoru provedena strukturní analýza metodou LEIS ověřující funkčnost a spolehlivost komponent manipulátoru.
|
|
|
Automatization of TDS data evaluation
Badin, Viktor ; Bábor, Petr (oponent) ; Potoček, Michal (vedoucí práce)
This bachelor thesis is focused on automatization of post-processing and evaluation of thermal desorption spectroscopy (TDS) data. The theoretical part discusses the processes of adsorption and desorption of atoms and molecules on surfaces and the thermal dependence of the latter. This work also provides a quantitative analysis of the measured signal from the instrument. The main objective of the practical part is to create a computer tool for automatization of TDS data evaluation. Description of the program, as well as a user guide, is included in the work. Comprehensive tests of the created program were concluded on previously measured TDS spectra and the kinetic parameters of several samples were determined.
|
|
|
Modernizace aparatury pro depozici pomocí iontového naprašování
Páleníček, Michal ; Mach, Jindřich (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá návrhem a realizací aparatury umožňující zakládání vzorků do vakua bez nutnosti zavzdušnění depoziční komory. Jsou diskutovány teoretické základy vakuových technologií. Dále je práce zaměřena na popis stávající depoziční komory a její princip. Největší část práce se zabývá popisem návrhů aparatury pro zakládání vzorků. První návrh, od kterého se opustilo, je popsán jen stručně, u druhého návrhu jsou rozepsány jednotlivé kroky a řešení. V práci je i jednoduchý návod na zakládání vzorků. Na závěr jsou prezentovány výsledky simulací chladícího sytému vzorků a průhybu magnetické tyče.
|
|
| |
host ::
RSS.