Národní úložiště šedé literatury Nalezeno 18 záznamů.  předchozí11 - 18  přejít na záznam: Hledání trvalo 0.00 vteřin. 
Pozorování vícevrstvých polovodičových struktur v rastrovacím elektronovém mikroskopu
Wandrol, Petr ; Matějková, Jiřina ; Autrata, Rudolf
Práce se zabývá problémy vznikajícími při pozorování polovodičových vzorků v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Zvláštní pozornost je věnována scintilačnímu detektoru zpětně odražených elektronů, který je pro tento účel velmi vhodný. Jednak díky možnosti pozorovat materiálový kontrast vzorku a tím přesně rozlišit jednotlivé vrstvy vzorku. A také protože se při snímání obrazu tímto detektorem neprojevuje tolik nabíjení méně vodivých vrstev vzorku, jako u detektorů sekundárních elektronů.
Detekce zpětně odražených elektronů v nízkonapěťové rastrovací elektronové mikroskopii
Wandrol, Petr
Tato práce se zabývá řešením problému detekce zpětně odražených elektronů při urychlovacím napětí nižším než 3 kV scintilačním detektorem. Při takto nízkém urychlovacím napětí, a tudíž malé energii zpětně odražených elektronů, produkují scintilační monokrystaly velmi nízký počet fotonů a obraz získaný scintilačním detektorem zpětně odražených elektronů je nekvalitní. Proto je nutné, pokud chceme získat obraz materiálového kontrastu, dodat zpětně odraženým elektronům energii potřebnou pro vytvoření dostatečného množství fotonů a zároveň elektromagnetickým polem odklonit sekundární elektrony, které přinášejí do obrazu nepříznivý vliv topografického kontrastu.
Angular distribution of backscattered electrons signal in Environmental Scanning Electron Microscopy
Wandrol, Petr
Cílem této práce bylo ověřit vliv prostorového úhlu sběru na velikost detekovaného signálu. Uvedené výsledky měření byly získány pozorováním vzorku uhlíku pokrytého tenkou vrstvou zlata. Urychlovací napětí primárního svazku bylo 20 kV. Prostorový úhel sběru byl změněn pomocí aplikace hliníkových vrstev s průměrem clon 2,3,4,8,16 mm připevněných na scintilátor. Jako pracovní prostředí v komoře vzorku byl použit vzduch a nasycené vodní páry.
Collection solid angle of backscattered electrons in environmental scanning electron microscopy
Wandrol, Petr
This paper deals with an influence of the collection solid angle on a magnitude of detected signal. The presented results of measurement were gained by an observation of the specimen of carbon covered with a thin layer of gold. The collection solid angle was changed by application of aluminium masks mounted on the scintillator. As a working environment in the specimen chamber air and saturated water steam were used.
Studium kontrastních mechanismů v environmentální rastrovací elektronové mikroskopii
Wandrol, Petr
Hlavním cílem práce je studium kontrastních mechanismů v environmentální rastrovací elektronové mikroskopii. V disertační práci se budu věnovat jednak návrhu a konstrukci pravého detektoru sekundárních elektronů, který není ovlivňován zpětně odraženými elektrony, a dále scintilačnímu detektoru zpětně odražených elektronů na bázi monokrystalu YAP. Pro úspěšné řešení tématu bude třeba zvládnout teorii vlivu magnetických polí na trajektorie elektronů a software SIMION v. 7.0 a prostudovat teorii pro stanovení vhodných vakuových poměrů v diferenciálních komůrkách.
Trajektorie signálních elektronů v nízkonapěťovém BSE detektoru
Wandrol, Petr ; Autrata, Rudolf
Současný vývoj v rastrovací elektronové mikroskopii je orientován na používání nízkého napětí urychlujícího svazek primárních elektronů (LV SEM). Sekundární elektrony (SE) pro pozorování topografického kontrastu, a zpětně odražené elektrony (BSE), pro pozorování materiálového kontrastu, jsou hlavní složky detekovaného signálu v LV SEM. Zatímco SE mohou být detekovány Everhart-Thornley scintillation detector nebo in-lens detektorem, detekce BSE v LV SEM je dosud nevyřešený problém
Nový typ scintilátoru YAG-II pro nanometrové rozlišení BSE obrazu v REM
Autrata, Rudolf ; Schauer, Petr ; Wandrol, Petr
Nový typ YAG II s vyšší účinností a kratší dobou doznívání ve srovnání s původním YAG byl vyvinut.Může být dosaženo vyšší rozlišení řádově jednotek nm

Národní úložiště šedé literatury : Nalezeno 18 záznamů.   předchozí11 - 18  přejít na záznam:
Chcete být upozorněni, pokud se objeví nové záznamy odpovídající tomuto dotazu?
Přihlásit se k odběru RSS.