| |
|
Detekce zpětně odražených elektronů v nízkonapěťové rastrovací elektronové mikroskopii
Wandrol, Petr
Tato práce se zabývá řešením problému detekce zpětně odražených elektronů při urychlovacím napětí nižším než 3 kV scintilačním detektorem. Při takto nízkém urychlovacím napětí, a tudíž malé energii zpětně odražených elektronů, produkují scintilační monokrystaly velmi nízký počet fotonů a obraz získaný scintilačním detektorem zpětně odražených elektronů je nekvalitní. Proto je nutné, pokud chceme získat obraz materiálového kontrastu, dodat zpětně odraženým elektronům energii potřebnou pro vytvoření dostatečného množství fotonů a zároveň elektromagnetickým polem odklonit sekundární elektrony, které přinášejí do obrazu nepříznivý vliv topografického kontrastu.
|
| |
| |
|
Studium kontrastních mechanismů v environmentální rastrovací elektronové mikroskopii
Wandrol, Petr
Hlavním cílem práce je studium kontrastních mechanismů v environmentální rastrovací elektronové mikroskopii. V disertační práci se budu věnovat jednak návrhu a konstrukci pravého detektoru sekundárních elektronů, který není ovlivňován zpětně odraženými elektrony, a dále scintilačnímu detektoru zpětně odražených elektronů na bázi monokrystalu YAP. Pro úspěšné řešení tématu bude třeba zvládnout teorii vlivu magnetických polí na trajektorie elektronů a software SIMION v. 7.0 a prostudovat teorii pro stanovení vhodných vakuových poměrů v diferenciálních komůrkách.
|
| |
|
Trajektorie signálních elektronů v nízkonapěťovém BSE detektoru
Wandrol, Petr ; Autrata, Rudolf
Současný vývoj v rastrovací elektronové mikroskopii je orientován na používání nízkého napětí urychlujícího svazek primárních elektronů (LV SEM). Sekundární elektrony (SE) pro pozorování topografického kontrastu, a zpětně odražené elektrony (BSE), pro pozorování materiálového kontrastu, jsou hlavní složky detekovaného signálu v LV SEM. Zatímco SE mohou být detekovány Everhart-Thornley scintillation detector nebo in-lens detektorem, detekce BSE v LV SEM je dosud nevyřešený problém
|
| |