Název:
Detekce zpětně odražených elektronů v nízkoenergiové oblasti spektra elektronového svazku v SEM
Překlad názvu:
Detection of Backscattered Electrons in the Low-Energy Part of the Electron Beam Spectrum in SEM
Autoři:
Wandrol, Petr Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: PDS 2003 Seminář doktorandů oboru Elektronová optika, Brno (CZ), 2004-01-30
Rok:
2004
Jazyk:
cze
Klíčová slova:
elektronový mikroskop; Backscattered Electrons; electron microscope; Electron Microscope; SEM Číslo projektu: IBS2065107 (CEP), CEZ:AV0Z2065902 (CEP) Poskytovatel projektu: GA AV ČR Zdrojový dokument: PDS 2003 - Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky na počátku roku 2004, ISBN 80-239-2268-8
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0016230