|
|
MEMS microhotplate platform for chemical sensors
Vančík, Silvester ; Svatoš, Vojtěch (oponent) ; Prášek, Jan (vedoucí práce)
This master’s thesis deals with design and fabrication of MEMS microhotplate platform for chemical gas sensors. The theoretical part describes MEMS, sensors and processes and technologies needed for fabrication of micro hotplate. The practical part includes simulations, masks and step by step microhotplate fabrication. Fabricated heating membrane was characterized and compared to theoretical values from simulations and to similar devices presented in literature.
|
|
|
Optimalizace elektrodového systému tlustovrstvého elektrochemického senzoru
Cupal, Miroslav ; Adámek, Martin (oponent) ; Prášek, Jan (vedoucí práce)
Diplomová práce se zabývá optimalizací elektrod tlustovrstvých senzorů. Cílem práce je zjistit, jak geometrické velikosti a tvary elektrod ovlivňují výstupní proudovou odezvu. Technologie a použitá elektrochemická analytická metoda je popsána v teoretické části. Praktická část je zaměřena na optimalizaci tlustovrstvých elektrod a senzorů. Je zde uvedena optimalizace jednotlivých TLV elektrod z hlediska vlivu jejich velikosti na výstupní proudovou odezvu tříelektrodového elektrochemického systému s použitím standardních elektrod. Podobně je zde provedeno studium vlivu velikosti elektrod na jednom společném tříelektrodovém senzoru. Nakonec jsou zde studovány různé tvary elektrodové oblasti tříelektrodového tlustovrstvého senzoru z hlediska jejich vlivu na výstupní proudovou odezvu. Shrnuté výsledky jsou popsány v závěrečné části práce.
|
|
|
Optimalizace procesu hloubkového reaktivního iontového leptání
Houška, David ; Hrdý, Radim (oponent) ; Prášek, Jan (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá optimalizací kryogenního a Bosch procesu hloubkového reaktivního iontového leptání (DRIE). V práci je shrnuta charakterizace leptacích metod křemíku, princip funkce DRIE a vliv jednotlivých parametrů na výsledný profil leptu. Na základě analýzy realizovaných vzorků pomocí rastrovací elektronové mikroskopie (SEM) byla provedena optimalizace obou jmenovaných procesů pro vytvoření úzkých děr s průměry 1 až 16 µm s nejvyšším dosaženým poměrem hloubky ku šířce 28:1 na křemíkovém substrátu. Mimoto byla analyzována drsnost povrchu stěn struktur leptaných oběma procesy pomocí mikroskopie atomárních sil (AFM) a přítomnost fluorových reziduí pomocí rentgenové fotoelektronové spektroskopie (XPS).
|
|
|
Modifikace pracovních elektrod elektrochemických senzorů pro detekci biolátek
Weiss, Vojtěch ; Prášek, Jan (oponent) ; Majzlíková, Petra (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá problematikou tištěných elektrochemických senzorů a možností jejich modifikace uhlíkovými nanotrubicemi. V teoretické části práce je popsána problematika senzorů, jejich rozdělení a technologie tlustých vrstev. Dále jsou zde zmíněny vlastnosti, využití a výroba uhlíkových nanotrubic a vybrané elektrochemické metody. V experimentální části práce jsou popsány tři metody modifikace pracovních uhlíkových elektrod uhlíkovými nanotrubicemi a charakterizace modifikovaných i nemodifikovaných elektrod metodou cyklické voltametrie, elektrochemické impedanční spektroskopie a rastrovací elektronové mikroskopie. V závěru práce jsou shrnuty a diskutovány získané výsledky.
|
|
|
Pokročilé techniky mikroobrábění
Šalomoun, Vojtěch ; Prášek, Jan (oponent) ; Pekárek, Jan (vedoucí práce)
Výroba mikro-elektro-mechanických systémů (MEMS) vyžaduje pokročilý stupeň miniaturizace, kterého nelze dosáhnout klasickými mikroelektronickými technologiemi. Tzv. mikroobrábění zahrnuje celou řadu specifických technik, kterými lze zpracovat materiál, nejčastěji křemík, do podoby mikrostruktury, jejíž rozměry mohou klesat až pod 1 m. V úvodu této bakalářské práce je nastíněn obecný úvod do problematiky mikroobráběcích technologií a MEMS. Pozornost je věnována objemovému a povrchovému mikroobrábění prostřednictvím mokrého a suchého leptání. Na základě uvedených skutečností jsou dále navrženy typické mikrostruktury a jejich výrobní postup. Jejich mechanické chování je modelováno prostřednictvím počítačového prostředí CoventorWare 2012.
|
|
|
Diferenční pulzní voltametrie pro detekci metallothioneinu
Postránecká, Tereza ; Prášek, Jan (oponent) ; Provazník, Ivo (vedoucí práce)
Metalothionein (MT) je protein s charakteristickým aminokyselinovým složením, který díky svým thiolovým skupinám dokáže vázat ionty kovů a zapojovat se tak do homeostázy těchto iontů v organismu. Protein má svůj význam i v procesu karcinogeneze, mohl by být vhodným markerem u některých typů nádorů. MT má v organismech mnoho specifických funkcí. Může být zkoumán několikerými technikami. Běžně používanou metodou stanovení koncentrace MT je elektroanalýza. Konkrétněji se v této práci zaměřuji na diferenční pulzní voltametrii za využití Brdičkovy reakce.
|
|
|
Polovodičové senzory plynů na bázi oxidu ciničitého
Gablech, Imrich ; Pytlíček, Zdeněk (oponent) ; Prášek, Jan (vedoucí práce)
Práce se zabývá polovodičovými senzory plynů, jejichž aktivní vrstva je tvořena oxidem ciničitým (SnO2). V první části jsou rozděleny senzory plynů dle principu jejich funkčnosti. Dále je popsán princip fungování polovodičových SnO2 senzorů a možné modifikace této aktivní vrstvy. Praktická část komplexně shrnuje senzor plynů od jeho návrhu až po samotnou výrobu, testování a charakterizaci. Při konstrukci senzoru bylo využito několika mikroelektronických technologií, jako je například tenkovrstvá, tlustovrstvá, LTCC, spray-coating nebo wire-bonding technologie. V samotném závěru jsou shrnuty vlastnosti vyrobených senzorů a rozdíly ve funkčnosti modifikovaného a nemodifikovaného senzoru.
|
|
|
Optimalizace elektrodového systému tlustovrstvého elektrochemického senzoru
Gablech, Imrich ; Adámek, Martin (oponent) ; Prášek, Jan (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá optimalizací tříelektrodového elektrochemického senzoru pro detekci látek v roztocích vyrobeného technologií tlustých vrstev. Teoretická část práce popisuje technologii tlustých vrstev, úvod do elektrochemie a elektroanalytické metody pro detekci látek v roztocích. V praktické části je řešena optimalizace velikosti povrchu referenční a pomocné elektrody tříelektrodového systému. Závěr práce obsahuje zhodnocení zjištěných výsledků a popis ideálního tříelektrodového systému.
|
|
|
Elektrochemická analytická zařízení pro měření s tlustovrstvými senzory
Pytlíček, Zdeněk ; Adámek, Martin (oponent) ; Prášek, Jan (vedoucí práce)
Předkládaná práce se zabývá problematikou elektrochemických analytických zařízení, která jsou navržena pro zjišťování stopových koncentrací látek v roztocích a to za pomocí tlustovrstvých senzorů. Prioritně je zde hledáno optimální elektrochemické uspořádání pro dosažení co možná nejlepších detekčních limitů s těmito senzory. Jsou zde popsány a porovnány elektrochemická analytická uspořádaní včetně speciálních typů, u kterých se používají tlustovrstvé senzory. Mezi zkoumaná zařízení patří i nové elektrochemické analytické zařízení s rotující nádobkou, které má za úkol sloučit výhody a eliminovat nevýhody ostatních běžně používaných typů. Za účelem dosažení lepších výsledků měření s tímto novým typem zařízení, se práce mimo jiné zabývá vhodnými úpravami funkčního vzoru tohoto nového zařízení. Z praktických důvodů byla všechna měření provedena cyklickou voltametrií ve standardním elektrochemickém roztoku fero-ferikyanidu draselného. Byla zvolena nejoptimálnější poloha senzoru v nádobce zařízení. V závěru práce byla všechna měřená elektrochemická uspořádání mezi sebou porovnána z pohledu jejich vhodnosti pro dosažení nejlepších detekčních limitů s tlustovrstvými elektrochemickými senzory.
|
|
|
Tlustovrstvé senzory pro elektrochemickou detekci látek v roztocích
Martynek, Daniel ; Adámek, Martin (oponent) ; Prášek, Jan (vedoucí práce)
Práce se zabývá teoreticky principy a vlastnostmi elektrochemických senzorů, tlustovrstvé technologie a elektrod používaných v elektrochemii. Jsou zde diskutovány metody detekce látek v roztocích. Hlavní důraz je kladen na diferenciální pulsní voltametrii a na vliv změny jejích parametrů na výsledky měření. Experimentálně se práce zabývá modifikaci tlustovrstvé pracovní elektrody senzorů uhlíkovými nanotrubicemi a následnou aktivací těchto elektrod kyselinou dusičnou za účelem zvýšení limitu detekce a proudové odezvy na vybrané ionty těžkých kovů. Na závěr jsou dosažené výsledky porovnány se speciální komerční pastou a diskutovány s údaji uvedenými v literatuře.
|
host ::
RSS.