|
|
Optimalizace procesu hloubkového reaktivního iontového leptání
Houška, David ; Hrdý, Radim (oponent) ; Prášek, Jan (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá optimalizací kryogenního a Bosch procesu hloubkového reaktivního iontového leptání (DRIE). V práci je shrnuta charakterizace leptacích metod křemíku, princip funkce DRIE a vliv jednotlivých parametrů na výsledný profil leptu. Na základě analýzy realizovaných vzorků pomocí rastrovací elektronové mikroskopie (SEM) byla provedena optimalizace obou jmenovaných procesů pro vytvoření úzkých děr s průměry 1 až 16 µm s nejvyšším dosaženým poměrem hloubky ku šířce 28:1 na křemíkovém substrátu. Mimoto byla analyzována drsnost povrchu stěn struktur leptaných oběma procesy pomocí mikroskopie atomárních sil (AFM) a přítomnost fluorových reziduí pomocí rentgenové fotoelektronové spektroskopie (XPS).
|
|
|
Semi-automated Design of High-performance Digital Circuits with Xilinx FPGAs
Houška, David ; Dvořák, Vojtěch (oponent) ; Šťáva, Martin (vedoucí práce)
This master's thesis deals with sequential digital circuit design optimization concerning delay optimization. Two techniques commonly used for the optimization are described in the thesis – a brief description of the retiming technique and a more in-depth description of the pipelining technique. A form of abstraction of sequential digital circuits using Directed Acyclic Graphs (DAGs) was developed in the practical part of the thesis. This abstraction represents the circuit in a more manageable way for transformations. At the same time, a tool for semi-automatic digital circuit optimization using pipelining is introduced. This tool is compatible with Xilinx ISE Design Suite.
|
|
| |
|
|
Semi-automated Design of High-performance Digital Circuits with Xilinx FPGAs
Houška, David ; Dvořák, Vojtěch (oponent) ; Šťáva, Martin (vedoucí práce)
This master's thesis deals with sequential digital circuit design optimization concerning delay optimization. Two techniques commonly used for the optimization are described in the thesis – a brief description of the retiming technique and a more in-depth description of the pipelining technique. A form of abstraction of sequential digital circuits using Directed Acyclic Graphs (DAGs) was developed in the practical part of the thesis. This abstraction represents the circuit in a more manageable way for transformations. At the same time, a tool for semi-automatic digital circuit optimization using pipelining is introduced. This tool is compatible with Xilinx ISE Design Suite.
|
|
|
Optimalizace procesu hloubkového reaktivního iontového leptání
Houška, David ; Hrdý, Radim (oponent) ; Prášek, Jan (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá optimalizací kryogenního a Bosch procesu hloubkového reaktivního iontového leptání (DRIE). V práci je shrnuta charakterizace leptacích metod křemíku, princip funkce DRIE a vliv jednotlivých parametrů na výsledný profil leptu. Na základě analýzy realizovaných vzorků pomocí rastrovací elektronové mikroskopie (SEM) byla provedena optimalizace obou jmenovaných procesů pro vytvoření úzkých děr s průměry 1 až 16 µm s nejvyšším dosaženým poměrem hloubky ku šířce 28:1 na křemíkovém substrátu. Mimoto byla analyzována drsnost povrchu stěn struktur leptaných oběma procesy pomocí mikroskopie atomárních sil (AFM) a přítomnost fluorových reziduí pomocí rentgenové fotoelektronové spektroskopie (XPS).
|
host ::
RSS.