Original title: Příprava optických tenkých vrstev metodou depozice z chemických par
Translated title: Preparation of optical thin films by chemical vapor deposition
Authors: Koryčánek, Adam ; Kvapil, Michal (referee) ; Kolíbal, Miroslav (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2024
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Tato práce se zaměřuje na porovnání metod fyzikální depozice tenkých antireflexních vrstev s metodami depozice s chemických par (CVD), pro aplikace v oblasti optiky. Nejprve jsou zahrnuty základní pojmy a principy související s antireflexními vrstvami, jejich depozicí a charakterizací. Dále v experimentální části jsou použity techniky elipsometrie, rastrovací sondové mikroskopie (AFM) a rentgenové fotoelektronové spektroskopie (XPS) k charakterizaci vlastností a porovnání vrstev. This work is focused on the comparison between physical vapor deposition methods of thin antireflective layers and chemical vapor deposition (CVD) methods, for applications in the field of optics. The work begins with basic concepts and principles related to anti-reflective coatings, their deposition and characterization. Furthermore, in the experimental part, the techniques of ellipsometry, atomic force microscopy (AFM) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) are used to characterize the properties of the layers and their comparison.
Keywords: antireflective layers; atomic force microscopy; atomic layer deposition; ellipsometry; hafnium oxide; physical vapor deposition; titanium oxide; x-ray photoelectron spectroscopy; antireflexní vrstvy; depozice atomárních vrstev; depozice z plynné fáze; elipsometrie; oxid hafničitý; oxid titaničitý; rastrovací sondová mikroskopie; rentgenová fotoelektronová spektroskopie

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: https://hdl.handle.net/11012/248269

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-620015


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses