Název: In-situ charakterizace polovodičů pomocí technik rastrující sondové mikroskopie
Překlad názvu: In-situ characterization of semiconductors using scanning probe microscopy techniques
Autoři: Očkovič, Adam ; Pléha, David (oponent) ; Pavera, Michal (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2024
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze] [eng]

Klíčová slova: AFM; bipolární tranzistor; CAFM; CMOS; EFM; KPFM; MOSFET; polovodiče; Poruchová analýza; samosnímací sondy; SPM-SEM; SSRM; AFM; bipolar transistor; CAFM; CMOS; EFM; Failure analysis; KPFM; MOSFET; self-sensing probes; semiconductors; SPM-SEM; SSRM

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: https://hdl.handle.net/11012/247326

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-617512


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce
 Záznam vytvořen dne 2024-06-22, naposledy upraven 2024-06-22.


Není přiložen dokument
  • Exportovat ve formátu DC, NUŠL, RIS
  • Sdílet