Original title:
SMV-2023-63: Odměřovací interferometrické systémy
Translated title:
SMV-2023-63: Measuring interferometric systems
Authors:
Mikel, Břetislav Document type: Research reports
Year:
2023
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Smluvní výzkum byl zaměřen na vývoj víceosých odměřovacích systémů využívajících nejpřesnější způsob měření na principu interference laserového záření. Základní referencí je laserový zdroj o vlnové délce 633 nm. Odměřovací systémy jsou určeny do zařízení vyžadující přesnost měření v řádech nanometrů.The contract research was focused on the development of multi-axis measuring systems using the most accurate method of measurement based on the principle of laser radiation interference. The basic reference is a laser source with a wavelength of 633 nm. Measuring systems are intended for devices requiring measurement accuracy in the order of nanometers.
Keywords:
laser interferometry; laser source; measurement of lenght
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: https://hdl.handle.net/11104/0349227