Original title: Povrchové a mechanické vlastnosti a-CSi:H a a-CSiO:H vrstev
Translated title: Surface and mechanical properties of a-CSi:H and a-CSiO:H films
Authors: Plichta, Tomáš ; Shukurov, Andrey (referee) ; Klapetek, Petr (referee) ; Čech, Vladimír (advisor)
Document type: Doctoral theses
Year: 2020
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická
Abstract: [cze] [eng]
Dizertační práce se zabývá přípravou a charakterizací tenkých a-CSi:H a a-CSiO:H vrstev připravených pomocí plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD). Tetravinylsilan (TVS) a jeho směsi s argonem a kyslíkem byly použity pro depozice vrstev jak na planární substráty, tak na svazky vláken. Hlavními charakterizačními technikami byla studována topografie vrstev, a to pomocí mikroskopie atomárních sil (AFM), jejich mechanické vlastnosti pomocí nanoindentace a míra adheze vrstev k substrátu vrypovou zkouškou. Mezi další analyzované vlastnosti patřilo vnitřní pnutí či frikční koeficient. Zvláštní pozornost byla věnována adhezní práci a jejímu stanovení. Tyto znalosti byly dále aplikovány při přípravě povrchových úprav skleněných vláken a následně polymerních kompozitů. Ty byly testovány pomocí vytlačovacího testu a smykového testu krátkých trámečků. Na základě výsledků byly stanoveny vlivy depozičních podmínek a vztahy mezi studovanými vlastnostmi a veličinami. The dissertation thesis deals with the preparation and characterisation of a-CSi:H and a CSiO:H thin films prepared using the process of plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD). Tetravinylsilane (TVS) and its mixtures with argon and oxygen were used to deposit films on both planar substrates and fibre bundles. Main characterisation techniques were employed to study the topography of films, namely atomic force microscopy (AFM). Their mechanical properties were studied through nanoindentation; the nanoscratch test was used to assess the film adhesion to the substrate. Other analysed properties were internal stress and friction coefficient. The particular attention was paid to the work of adhesion and its determination. This knowledge was further applied to the preparation of surface treatments of glass fibres and, subsequently, polymer composites. Those were tested using the push-out test and the short beam shear test. Based on the results, the effects of deposition conditions and the relationships between the studied properties and quantities were determined.
Keywords: a-CSi:H; a-CSiO:H; atomic force microscopy (AFM); interfacial shear strength; mechanical properties; nanoindentation; nanoscratch test; PECVD; polymer composite; push-out test; short beam shear strength; short beam shear test; Thin film; work of adhesion; a-CSi:H; a-CSiO:H; adhezní práce; mechanické vlastnosti; mikroskopie atomárních sil (AFM); nanoindentace; PECVD; polymerní kompozit; smyková pevnost krátkých trámečků; smyková pevnost na rozhraní; smykový test krátkých trámečků; Tenká vrstva; vrypová zkouška; vytlačovací test

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/195696

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-612612


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Doctoral theses