Original title: Plazmochemická depozice vrstev z plynné fáze s využitím směsí TVS/Ar a TVS/O2
Translated title: Plasma-enhanced chemical vapor deposition using TVS/Ar and TVS/O2 mixtures
Authors: Sadílek, Jakub ; Salyk, Ota (referee) ; Čech, Vladimír (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2013
Language: eng
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická
Abstract: [eng] [cze]
Tato studie je zaměřena na základní výzkum přípravy a-SiC:H a a-SiCO:H slitin plazmových polymerů pomocí metody plazmochemické depozice z plynné fáze (PE-CVD). Tyto slitiny byly připravovány depozicí z monomeru tetravinylsilanu (TVS) a jeho směsí s kyslíkem a argonem při různých efektivních výkonech pulzního plazmatu. Připravené tenké vrstvy byly za účelem získání závislostí optických, mechanických a chemických vlastností na depozičních podmínkách zkoumány pomocí metod spektros-kopické elipsometrie (ELL), nanoindentace (NI), fotoelektronové spektrometrie (XPS) a Fourierovy transformované infračervené spektrometrie This study is aimed at basic research on a-SiC:H and a-SiOC:H alloys prepared in a form of thin films using plasma-enhanced chemical vapor deposition. These alloys were deposited from tetravinylsilane monomer and its mixtures with argon or oxygen gas at different effective powers under pulsed plasma. Deposited films were investigated by X-ray photoelectron spectroscopy, Fourier transform infrared spectroscopy, spectro-scopic ellipsometry, and nanoindentation to observe their chemical, optical, and me-chanical properties as a function of deposition conditions.
Keywords: a-SiC:H; a-SiCO:H; elipsometrie; Fourierovsky transformovaná infračervená spek-trometrie (FTIR); plazmochemická depozice z plyné fáze (PECVD); tenké vrstvy; Tetravinylsilane (TVS); a-SiC:H; a-SiCO:H; ellipsometry; Fourier transformed infrared spectrometry (FTIR); Plasma enhanced chemical vapor deposi-tion (PECVD); Tetravinylsilane (TVS); thin film

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/23373

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-599442


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses