Original title:
Metodika stanovení velikosti detekovaného signálu v EREM
Translated title:
Method for signal level value evaluation in ESEM
Authors:
Potoma, Jaroslav ; Jirák, Josef (referee) ; Čudek, Pavel (advisor) Document type: Bachelor's theses
Year:
2010
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[cze][eng]
Předkládaná práce se zabývá problematikou environmentální rastrovací elektronové mikroskopie (EREM) a detekcí signálních elektronů pomocí ionizačního detektoru.Hlavní náplní této práce je porovnání osciloskopické metody stanovení velikosti signálu s metodou vyhodnocování velikosti signálu z úrovně šedi ze snímků standartních vzorků. Vyhodnocení výhod a nevýhod obou metod.
This work deals with problematics of enviromental scanning electron microscopy and detection of signal electrons by ionization detector.The main goal of this work is to present a comparison of osciloscopical method for evaluation of signal level with method for evaluation of signal level from grayscale of common sample images. Evaluation of advantages and disadvantages of both methods.
Keywords:
Scanning electron microscope Evaluation of signal level Osciloscopical method Ionization detector; Rastrovací elektronový mikroskop Vyhodnocení velikosti signálu Osciloskopická metoda Ionizační detektor
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/18795