Original title:
Plazmatické povrchové úpravy skleněných vláken na bázi organokřemičitanů
Translated title:
Plasma surface modification of glass fibers on a basis of organosilicones
Authors:
Veteška, Jaromír ; Salyk, Ota (referee) ; Čech, Vladimír (advisor) Document type: Master’s theses
Year:
2008
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická Abstract:
[cze][eng]
Tato práce je zaměřena na přípravu tenkých polymerních vrstev na skleněná vlákna připravených depozicí z plynné fáze v nízkoteplotním plazmatu (PE CVD) ze směsi tetravinylsilanu (TVS) a kyslíku. K charakterizaci tenkých polymerních vrstev a k optimalizaci depozičních podmínek, které by byly reprodukovatelné, byly napřed připraveny vrstvy na plošných substrátech.
This thesis is aimed at preparation of thin plasma-polymerized films deposited on glass fibers by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE CVD) from a mixture of tetravinylsilane (TVS) and oxygen gas. Plasma-polymerized films which were deposited on silicon wafers were used to characterize chemical properties and optimization of deposition process with respect to reproducibility.
Keywords:
AFM; ellipsometry; FTIR; glass fibres; PE CVD; plasma polymerization; RBS; tetravinylsilane; thin films; AFM; elipsometrie; FTIR; PE CVD; plazmová polymerace; RBS; skleněná vlákna; tenké vrstvy; tetravinylsilan
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/13606