Original title: Charakterizace nového depozičního systému pro povlakování vláken
Translated title: Characterization of a new deposition system for coating the fibers
Authors: Zvonek, Milan ; Salyk, Ota (referee) ; Čech, Vladimír (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2016
Language: eng
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická
Abstract: [eng] [cze]
Cieľom bakalárskej práce je charakterizácia depozičného systému na výrobu tenkých vrstiev. Teoretická časť je zameraná na literárnu rešerš o plazme, plazmovej polymerácií, tenkých vrstvách a ich analýzu pomocou infračervenej spektroskopie a spektroskopickej elipsometrie. Experimentálna časť popisuje použité materiály a aparaturu použitú na prípravu tenkých vrstiev pomocou plazmovej polymerácie. Posledná časť popisuje výsledky merania depozícií tenkých vrstiev a ich vyhodnotenie vzhľadom na depozičné podmienky. The aim of the bachelor thesis is characterisation of a deposition system for coating thin films. The theoretical part focuses on literature recherché on plasma and plasma polymerization, thin films and its analysis using IR spectroscopy and spectroscopic ellipsometry. Experimental part deals with materials and equipment used for preparation of thin films using plasma polymerisation. The final part of the thesis describes the measurement results of the thin films deposition and their evaluation with respect to the deposition conditions.
Keywords: infračervená spektroskopia; plazma; plazmová polymerizácia; spektroskopická elipsometria; Tenká vrsva; tetravinylsilan.; IR spectroscopy; plasma; plasma polymerization; spectroscopic ellipsometry; tetravinylsilane.; Thin film

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/58841

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-581765


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses