Original title:
Piezoelektrické rezonátory MEMS pro senzorické aplikace
Translated title:
Piezoelectric MEMS resonators for sensing applications
Authors:
Klempa, Jaroslav ; Svatoš, Vojtěch (referee) ; Gablech, Imrich (advisor) Document type: Bachelor's theses
Year:
2017
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[cze][eng]
Tato práce se věnuje základním postupům a procesům při výrobě mikroelektromechanických systémů. Pozornost je věnována materiálovým vlastnostem, depozičním, litografickým a obráběcím procesům. Dále jsou v práci popsány základní principy a aplikace piezoelektrických rezonančních struktur. Praktická část se věnuje simulaci rezonátorů pomocí metody konečných prvků v simulačním prostředí ANSYS® Workbench, jejich výrobě a ověření funkčnosti a přesnosti simulací.
Basic principles and processes used during fabrication of microelectromechanical systems are presented in this work. This thesis is focused on material properties, deposition, lithographic and micromachining processes. Fundamental principles and applications of piezoelectric resonant structures are described as well. Final part of this work is devoted to simulation of resonant beams using FEM method in ANSYS® Workbench, practical fabrication and characterization of piezoelectric MEMS resonators.
Keywords:
MEMS; micromachining; piezoelectricity; resonant frequency; resonator; thin films; MEMS; mikroobrábění; piezoelektřina; rezonanční frekvence; rezonátor; tenké vrstvy
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/68114