Název: Vytváření tenkých kovových vrstev magnetronovým naprašovacím zařízením
Překlad názvu: Deposition of thin metal layers by vacuum magnetron sputtering device
Autoři: Rogozhnikova, Mariia ; Hylský, Josef (oponent) ; Strachala, Dávid (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2017
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Tato bakalářská práce je zaměřena na popis magnetronového naprašovacího zařízení NP 12 pro depozici tenkých kovových vrstev. V práci je nejprve uvedena problematika kovových vrstev, následuje přehled metod jejich vytváření a popis magnetronového naprašování. V praktické části došlo k vytvoření manuálu k ovládání naprašovacího zařízení a poté k realizaci deseti vzorků. Naprášena byla měď, hliník a titan na skleněný a křemíkový substrát a zároveň byly zjištěny vhodné procesní parametry zařízení. V závěru práce došlo k vyhodnocení vzorků z hlediska rovinnosti povrchu a čistoty naprášených vrstev za pomocí AFM, SEM měření. This bachelor’s thesis is focused on description of magnetron sputtering device NP 12 for the thin metal layers forming. In this work is mentioned the issue of metal layers, is given an overview of the methods of their forming and description of magnetron sputtering. Practical part of this thesis describes creation of the NP 12 sputtering device controlling instructions and creation of ten working samples. Copper, aluminum, and titanium layers were sputtered on a glass and silicon substrate bases. An appropriate processing parameters have been defined experimentally. The conclusion of this final work gives analyzes of surface flatness and purity of the sputtered layers using AFM and SEM measurements methods.
Klíčová slova: AFM měření; magnetronové naprašování; metody vytvoření tenkých kovových vrstev; naprašovací zařízení; procesní parametry; SEM měření.; Tenké kovové vrstvy; AFM; appropriate processing parameters; magnetron sputtering; magnetron sputtering device; methods of creating thin films; SEM.; Thin films

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/68273

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-565710


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce