Original title: Imaging Reflectometry Measuring Thin Films Optical Properties
Translated title: Imaging Reflectometry Measuring Thin Films Optical Properties
Authors: Běhounek, Tomáš ; Spousta, Jiří (referee) ; Zicha,, Josef (referee) ; Kotačka, Libor (referee) ; Druckmüller, Miloslav (advisor)
Document type: Doctoral theses
Year: 2009
Language: eng
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [eng] [cze]
V této práci je prezentována inovativní metoda zvaná \textit{Zobrazovací Reflektometrie}, která je založena na principu spektroskopické reflektometrie a je určena pro vyhodnocování optických vlastností tenkých vrstev .\ Spektrum odrazivosti je získáno z map intenzit zaznamenaných CCD kamerou. Každý záznam odpovídá předem nastavené vlnové délce a spektrum odrazivosti může být určeno ve zvoleném bodu nebo ve vybrané oblasti.\ Teoretický model odrazivosti se fituje na naměřená data pomocí Levenberg~-~Marquardtova algoritmu, jehož výsledky jsou optické vlastnosti vrstvy, jejich přesnost, a určení spolehlivosti dosažených výsledků pomocí analýzy citlivosti změn počátečních nastavení optimalizačního algoritmu. An innovative method of evaluating thin film optical properties, the so called {\it Imaging Reflectometry} based on principles of spectroscopic reflectometry is presented in this thesis.\ Reflectance spectra of the film is extracted from intensity maps recorded by CCD camera, that correspond to chosen wavelengths, either over selected area or at one point.\ A theoretical model of reflectance is fitted to experimental data (the extracted reflectance spectra) by applying Levenberg~-~Marquardt algorithm in order to determine optical properties, their accuracy and reliability factor used to quantify a convergence successfulness of the reflectance model and hence the quality of the acquired results at given settings in a sense of a sensitivity analysis.
Keywords: aditivní šum; analýza citlivosti; disperzní model; faktor spolehlivosti; Levenberg~-~Marquardt; metoda nejmenších čtverců; nelineární regrese; obrazový filtr; odrazivost; optické vlastnosti; reflektometrie; spektrum odra\-zivosti; Tenká vrstva; zpracování obrazu; additive noise; dispersion model; image filter; image processing; Levenberg~-~Marquardt; nonlinear regression; optical properties; reflectance; reflectance spectra; reflectometry; reliability factor; sensitivity analysis; sum of the least squares; Thin film

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/18281

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-565165


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Doctoral theses