Original title: Metoda napěťového kontrastu v ESEM
Translated title: Method of Voltage Contrast in ESEM
Authors: Buchta, Michal ; Černoch, Pavel (referee) ; Jirák, Josef (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2008
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Tato práce se zabývá problematikou napěťového kontrastu v ESEM. Cílem práce bylo experimentálně ověřit vliv použitých detektorů v závislosti na podmínkách v komoře vzorku na velikost napěťového kontrastu. Podmínkami v komoře vzorku rozumíme tlak a pracovní podmínky detekce signálu.. Jako vzorek byl použit výkonový tranzistor. This graduation thesis deals with the problem of voltage contrast in ESEM. The purpose of this work was to verify influence of used detectors in the dependence on conditions in specimen chamber on the size of voltage contrast. With the conditions in specimen chamber we understand pressure and working conditions of signal detection. We used power transistor as specimen.
Keywords: electron microscopy; ionization detector; scintillation detector.; Voltage contrast; elektronová mikroskopie; ionizační detektor; Napěťový kontrast; scintilační detektor.

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/15068

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-562984


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses