Název: Optimalizace tvaru čerpání diferenciálně čerpané komory pro novou koncepci elektronového mikroskopu
Překlad názvu: Optimizing the shape of the pumping chambers differentially pumped chamber for a new concept of the electron microscope.
Autoři: Polách, Ondřej ; Vyroubal, Petr (oponent) ; Maxa, Jiří (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2015
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Předkládaná práce se zabývá problematikou elektronové mikroskopie především environmentální elektronovou mikroskopií. Hlavním úkolem práce bude návrh optimálního tvaru diferenciálně čerpané komory, oddělující tlakový rozdíl mezi tubusem a komorou vzorku pro novou koncepci elektronového mikroskopu. Pomocí systému Ansys Fluent bude analyzováno čerpání plynu. Následně podle získaných výsledků bude modifikován tvar diferenciální komory tak aby bylo dosaženo co nejnižšího tlaku plynu na dráze elektronového svazku. The present work deals with electron microscopy, electron microscopy primarily environmental. The main task of the work will draft the optimal shape of the differentially pumped chamber, dividing the pressure difference between tube and chamber with sample for a new concept of an electron microscope. By ANSYS Fluent will be analyzed pumping gas. Subsequently, according to the results obtained will be a modified form of the differential Chamber and to achieve the lowest gas pressure on the track of the electron beam.
Klíčová slova: Ansys Fluent; clona; deflektor.; diferenciálně čerpaná komora; Elektronová mikroskopie; elektronový svazek; EREM; Ansys Fluent; aperture; deflector.; differentially pumped chamber; electron beam; Electron microscopy; ESEM

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/40858

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-562286


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce