Original title: Reaktivní naprašování vrstev Al2O3
Translated title: Reactive sputtering Al2O3
Authors: Dušek, Jan ; Boušek, Jaroslav (referee) ; Fořt, Tomáš (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2016
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Diplomová práce popisuje technologii pulzního magnetronového naprašování vrstev Al2O3. Dále se tato práce zabývá návrhem depozičního procesu a jeho testováním pro nový hliníkový terč. Testováním bylo určeno technologické okno nového terče. Díky tomu bylo možné vytvořit vrstvy Al2O3 v nejširším možném pracovním rozmezí. Vrstvy vytvořené pomocí aparatury PLS 160 byly podrobeny testování optických vlastností pro získání propustnosti vrstvy. Kromě optických testů bylo provedeno vyhodnocení mechanických vlastností a adheze. Získané výsledky z jednotlivých měření byly vyhodnoceny. Podle získaných výsledků vlastností vrstev byl proveden návrh potenciálních aplikací, pro které by bylo možné vrstvu použít. Diploma thesis describes technology of pulse reactive magnetron sputtering of Al2O3 coating. Furthermore it deals with design of deposition process and testing new aluminium target. The technological window was determined by tests. As a result, it was possible to create Al2O3 coatings in the widest possible working range. The coatings created by apparatus PLS 160 were tested for optical properties in order to obtain transmittance. Besides the optical tests, the evaluation of mechanical properties and adhesion were performed. The obtained results from measurement were evaluated. Based on the results, some possible applications of the coating were suggested.
Keywords: adhesion; deposited films of Al2O3; mechanical properties; optical properties; properties of Al2O3 films; pulse sputtering; Reactive sputtering; adheze; mechanické vlastnosti; nadeponované vrstvy Al2O3; optické vlastnosti; pulzní naprašování; Reaktivní naprašování; vlastnosti vrstev Al2O3

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/59761

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-562221


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses