Název:
Návrh větrání čistého pracoviště pro elektrotechnický průmysl
Překlad názvu:
Ventilation of a clean room in electronic industry
Autoři:
Tichý, David ; Štětina, Josef (oponent) ; Charvát, Pavel (vedoucí práce) Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok:
2008
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze][eng]
Diplomová práce zpracovává návrh klimatizace čistého pracoviště pro výrobu polovodičových součástek v elektrotechnickém průmyslu. Pro toto pracoviště jsou zadáním specifikovány vysoké nároky na čistotu vzduchu, toleranci pracovní teploty a relativní vlhkost. Diplomová práce v první části shrnuje základní teorii návrhu, klasifikací, výstavby a provozování čistých prostorů se zaměřením na elektrotechnický průmysl. V části řešení daného úkolu dle zadaných parametrů jsou provedeny potřebné výpočty a na jejich základě je navrţena koncepce klimatizace, která především zahrnuje: - Stanovení vzduchových bilancí a počtu výměn na jednotlivých pracovištích. - Stanovení systému vícestupňové filtrace. - Určení způsobu proudění vzduchu a ne jeho základě návrh systému přívodu a odvodu vzduchu, návrh distribučního potrubí vzduchu. - Návrh VZT jednotek a jejich umístění ve strojovně vzduchotechniky.
The work describes an air conditioning and circulation system of a clean room environment in of a semiconductor production site. It is based on given requirements for air cleanness, temperature preasure and relative moisture. The first half of the work describes the way the system should work, classification of construction and operation of the site. The second half describes the calculations of the given parameters on which the system is designed. The calculations deal with - Air exchange and maintaining the required parameters - Designing the muti stage air filtration system - Designing the air flow speed, intake and outlet parameters of the air conditiong distribution system - Desingning the air conditioning units and their possitioning in the utility room
Klíčová slova:
HEPA filtr; Jednosměrné proudění; Klasifikace; Klasifikační číslo; Koncentrace částic; Nejednosměrné proudění; Provozní stav; Stav obsazení čistých prostor; Stavebně dokončený; Technologicky připravený; Třída čistoty; ULPA filtr; Čistota; Čistá zóna; Čistý prostor; Částice; as-built; at-rest; Class cleanness; Classification; Classificatory number; Clean room; Clean zone; Cleanliness; Concentration particles; Engaged condition clean room (occupancy states); HEPA filter; non-unidirectional airflow; operational; Particle; ULPA filter; unidirectional airflow
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/4133