Název: Kalibrace metody SIMS pomocí implantačních profilů
Překlad názvu: Calibration of SIMS method by implantation profiles
Autoři: Janák, Marcel ; Průša, Stanislav (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2019
Jazyk: slo
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [slo] [eng]

Klíčová slova: AlGaN HEMT; cesium sputtering; dopant; III Nitrides; ion implantation; matrix effect; MOCVD; oxygen sputtering; preferential sputtering; Quantitative analysis; RSF method; TOF.SIMS 5; TRIM

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/179359

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-559355


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce
 Záznam vytvořen dne 2024-04-02, naposledy upraven 2024-04-03.


Není přiložen dokument
  • Exportovat ve formátu DC, NUŠL, RIS
  • Sdílet