Original title:
Návrh a konstrukce efuzní cely pro přípravu ultratenkých vrstev
Translated title:
Design and Construction of an Effusion Cell for Growth of Ultrathin Layers
Authors:
Křápek, Ondřej ; Voborný, Stanislav (referee) ; Mach, Jindřich (advisor) Document type: Bachelor's theses
Year:
2009
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství Abstract:
[cze][eng]
Tato bakalářská práce se zabývá návrhem, vyhotovení výkresové dokumentace a konstrukcí efuzní cely pro přípravu ultratenkých vrstev různých materiálů v prostředí ultravysokého vakua. Po vyrobení součástí a smontování efuzní cely byla umístěny do ultra vakuové komory (p ~ 10-5 Pa), kde byla provedena první testovací depozice ultratenké vrstvy stříbra na Si (111). Tento vzorek byl analyzován rentgenovou fotoelektronovou spektroskopii a atomovou silovou mikroskopii.
This Bachelor's work deals with the design, documentation and construction of effusion cell for deposition of ultrathin layers of various materials in conditions of ultrahigh vacuum. After fabrication and assemblage the effusion cell was placed to an ultrahigh vacuum chamber (p ~ 10-5 Pa) where the first testing deposition of a silver ultrathin film on Si (111) substrate was performed. This sample was studied by X-ray photoelectron spectroscopy and atomic force microscopy.
Keywords:
atomic source; effusion cell; UHV design; ultrathin layers; atomární zdroj; efuzní cela; UHV konstrukce; ultratenké vrstvy
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/10756