Název: Návrh a konstrukce efuzní cely pro přípravu ultratenkých vrstev
Překlad názvu: Design and Construction of an Effusion Cell for Growth of Ultrathin Layers
Autoři: Křápek, Ondřej ; Voborný, Stanislav (oponent) ; Mach, Jindřich (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2009
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze] [eng]
Tato bakalářská práce se zabývá návrhem, vyhotovení výkresové dokumentace a konstrukcí efuzní cely pro přípravu ultratenkých vrstev různých materiálů v prostředí ultravysokého vakua. Po vyrobení součástí a smontování efuzní cely byla umístěny do ultra vakuové komory (p ~ 10-5 Pa), kde byla provedena první testovací depozice ultratenké vrstvy stříbra na Si (111). Tento vzorek byl analyzován rentgenovou fotoelektronovou spektroskopii a atomovou silovou mikroskopii. This Bachelor's work deals with the design, documentation and construction of effusion cell for deposition of ultrathin layers of various materials in conditions of ultrahigh vacuum. After fabrication and assemblage the effusion cell was placed to an ultrahigh vacuum chamber (p ~ 10-5 Pa) where the first testing deposition of a silver ultrathin film on Si (111) substrate was performed. This sample was studied by X-ray photoelectron spectroscopy and atomic force microscopy.
Klíčová slova: atomární zdroj; efuzní cela; UHV konstrukce; ultratenké vrstvy; atomic source; effusion cell; UHV design; ultrathin layers

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/10756

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-558160


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce