Original title: Metoda napěťového kontrastu při detekci sekundárních elektronů scintilačním detektorem ve VP SEM
Translated title: Voltage contrast method at detection of secondary electrons by scintillation detector in VP SEM
Authors: Jabůrek, Ladislav ; Špinka, Jiří (referee) ; Jirák, Josef (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2011
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Tato diplomová práce se zabývá problematikou elektronového rastrovacího mikroskopu pracujícího při vyšším tlaku v komoře vzorku. Hlavním cílem práce bylo sledování napěťového kontrastu na přechodu PN výkonového transistoru za vhodných pracovních podmínek za pomocí environmentální rastrovacího mikroskopu. Pozorování vzorku bylo umožněno pomocí scintilačního detektoru určeného pro pozorování ve vysokém tlaku. This thesis deals with scanning electron microscope working at higher pressure in the specimen chamber. The main goal was to study the voltage contrast on the PN junction of the transistor under suitable working conditions for using environmental scanning microscope. The observation of sample was enabled by a scintillation detector designed for observation of high pressure.
Keywords: envitonmental scanning electron microscope (ESEM; Scanning electron mikroscope (SEM); scintillation detector for higher pressure; secondary electron; voltage contrast; VP SEM); Environmentální rastrovací elektronová mikroskop (ESEM; napěťový kontrast.; Rastrovací elektronový mikroskop (SEM); scintilační detektor pro vyšší tlak; sekundární elektrony; VP SEM)

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/8170

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-558137


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses