Název: Napájecí zdroj pro pulsní magnetronové naprašování
Překlad názvu: Power source supply for pulse magnetron sputtering
Autoři: Chochola, Ondřej ; Havlíček, Tomáš (oponent) ; Boušek, Jaroslav (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2008
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Předkládaná práce se zabývá teorií depozice velmi tenkých vrstev pomocí pulsního magnetronového naprašování a návrhem, realizací a testováním napájecího zdroje pro pulsní magnetronové naprašování. The delivered thesis deals with the theory of very thin layers deposition by means of pulse magnetron sputtering and the proposal, realization and testing of the power supply source for the pulse magnetron sputtering.
Klíčová slova: Depozice; magnetron; naprašování; náhradní obvod; pulsní; pájecí zdroj; výboj; Deposition; discharge; magnetron; power supply; pulse; sputtering; substitute circuit

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/15217

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-550494


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce