Original title: Studium asymetrických vyhlazených mřížek vytvořených elektronovou litografií
Translated title: Study of asymmetric blazed gratings created by electron beam lithography
Authors: Brunn, Ondřej ; Urbánek,, Michal (referee) ; Krátký, Stanislav (advisor)
Document type: Bachelor's theses
Year: 2017
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract: [cze] [eng]
Tato práce se zabývá tvorbou vyhlazených asymetrických mřížek s užitím elektronové litografie. Popisuje kompletní postup od přípravy struktur v softwaru, následnou expozici elektronovým litografem až po vyvolání a analyzování kvalitativních i kvantitativních charakteristik vytvořených mřížek. Tyto výsledky jsou následně porovnány s analytickým výpočtem a numerickou simulací. This work deals with fabrication of asymmetric blazed gratings by electron beam lithography. It describes the whole process of structures preparing in software, followed by exposure carried out by an electron beam writer, and it finishes by creating and analysing both qualitative and quantitative characteristics of the fabricated gratings. These results are then compared with analytic calculation and numeric simulation.
Keywords: ASYMMETRIC GRATING; DIFFRACTIVE OPTICAL ELEMENTS; ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY; PROXIMITY EFFECT CORRECTION.; ASYMETRICKÁ MŘÍŽKA; DIFRAKČNÍ OPTICKÉ PRVKY; ELEKTRONOVÁ LITOGRAFIE; KOREKCE PROXIMITY EFEKTU.

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/62319

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-549241


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Bachelor's theses