Název:
Tvorba nanostruktur pomocí fokusovaného iontového svazku
Překlad názvu:
Fabrication of Nanostructures Using Focused Ion Beam
Autoři:
Bartoš, Radko ; Tomanec, Ondřej (oponent) ; Kolíbal, Miroslav (vedoucí práce) Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok:
2011
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze][eng]
Tato bakalářské práce se zabývá problematikou obrábění iontovým svazkem. Jsou představeny přístroje, které se pro tuto metodu používají, a možnosti různých druhů nastavení počátečních podmínek, které mají za následek odlišný výsledný tvar nanostruktur. V práci je popsána metodika tvorby a měření vytvořených nanostruktur. Ze získaných výsledků jsou odvozena vhodná nastavení iontového svazku tak, aby získané nanostruktury měly požadovaný tvar.
This bachelor´s thesis deals with the ion-beam milling. Focused ion beam instrument is presented, as well as possibilities of initial setup conditions, which finally result in different nanostuctures´ shapes. In the thesis the methodology of fabrication and analysis of the nanostructures is described. Ideal ion beam setup conditions were deduced so that the nanostructures are of requested shape.
Klíčová slova:
FIB; ionty; nanostruktury; odprašování; FIB; ions; nanostructures; sputtering
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/4331