Název: Příprava polovodičových vzorků pro transmisní elektronovou mikroskopii
Překlad názvu: Preparation of semiconductor samples for transmission electron microscopy
Autoři: Bajo, Viktor ; Bukvišová, Kristýna (oponent) ; Horák, Michal (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2023
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [cze] [eng]
Tato bakalářská práce se zabývá problematikou přípravy vzorků z polovodičových materiálů pro transmisní elektronovou mikroskopii. V teoretické části jsou obecně popsány nejpoužívanější metody předpřípravy a finalizační metody užívané k vytvoření ultratenkých oblastí průhledných pro elektronový svazek mikroskopu. Následuje přehled experimentálního vybavení použitého v praktické části k samotné přípravě vzorků. Připravil jsem dva vzorky z monokrystalického křemíku, jeden metodou mechanické přípravy s následným iontovým leštěním, další v podobě lamely vyrobené na rastrovacím elektronovém mikroskopu vybaveného fokusovaným iontovým svazkem. Mechanická příprava je výrazně časově náročnější, provádí se na několika specializovaných přístrojích a hrozí u ní znehodnocení celého zkoumaného objektu. Příprava lamel je vcelku rychlá a umožňuje vybrat velmi malou oblast zájmu, přičemž zbytek vzorku zůstane netknutý, na druhou stranu vyžaduje alespoň základní dovednosti práce s elektronovým mikroskopem. Oběma metodami lze připravit kvalitní vzorky vhodné k analýze v transmisním elektronovém mikroskopu. Celý postup jsem zdokumentoval v praktické části, která může sloužit jako návod na přípravu těchto vzorků. This bachelor thesis deals with the preparation of samples from semiconductors for transmission electron microscopy. In the theoretical part, the most common methods of pre-preparation and finishing methods used to create ultrathin regions transparent to the electron beam of the microscope are generally described. This is followed by an overview of the experimental equipment used in the practical part for the actual sample preparation. I prepared two single crystal silicon samples, one by mechanical preparation followed by ion polishing, the other in the form of a lamella fabricated using a scanning electron microscope equipped with a focused ion beam. Mechanical preparation is significantly more time-consuming, is performed on several specialised instruments and risks destruction of the whole object under investigation. Preparation of the lamellae is relatively fast and allows a very small area of interest to be selected, leaving the rest of the sample intact but, on the other hand, requires at least basic skills in scanning electron microscopy. Both methods can be used to prepare good quality samples suitable for analysis in a transmission electron microscope. I have documented the whole procedure in the practical section that can serve as a guide for the preparation of these samples.
Klíčová slova: FIB; lamela; mechanická příprava; polovodiče; příprava vzorků; TEM; FIB; lamella; mechanical preparation; sample preparation; semiconductors; TEM

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/213165

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-531390


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce