Název: Integrace laserové ablace do pracovních postupů systémů FIB-SEM
Překlad názvu: Integration of laser ablation into the workflows of FIB-SEM systems
Autoři: Valenta, Jakub ; Adámek, Martin (oponent) ; Búran, Martin (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2023
Jazyk: eng
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [eng] [cze]

Klíčová slova: ablation; analysis; defect; electron; focused ion beam; laser; microscopy; quality assurance; quality control; scanning electron microscope; ablace; analýza; defekt; elektron; fokusovaný iontový svazek; laser; mikroskopie; skenovací elektronový mikroskop; zajištění kvality; řízení kvality

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/210025

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-526530


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce
 Záznam vytvořen dne 2023-06-18, naposledy upraven 2023-06-18.


Není přiložen dokument
  • Exportovat ve formátu DC, NUŠL, RIS
  • Sdílet