Original title:
SMV-2021-62: Souřadnicové interferometrické systémy
Translated title:
SMV-2021-62: Coordinate interferometric systems
Authors:
Lazar, Josef Document type: Research reports
Year:
2021
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Vývoj víceosých interferometrických systémů pro souřadnicové polohování a odměřování s měřením ve dvou a třech osách pro polohování vzorků v elektronových litografech.Development of multiaxis interferometric systems for coordinate positioning and measurement in two and three axes for positioning of samples in electron-beam litography.
Keywords:
interferometry; positioning
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0326352