Název:
SMV-2021-62: Souřadnicové interferometrické systémy
Překlad názvu:
SMV-2021-62: Coordinate interferometric systems
Autoři:
Lazar, Josef Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2021
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Vývoj víceosých interferometrických systémů pro souřadnicové polohování a odměřování s měřením ve dvou a třech osách pro polohování vzorků v elektronových litografech.Development of multiaxis interferometric systems for coordinate positioning and measurement in two and three axes for positioning of samples in electron-beam litography.
Klíčová slova:
interferometry; positioning
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0326352