Original title:
SMV-2021-26: Konstrukce, vývoj a depozice optických tenkovrstvých soustav
Translated title:
SMV-2021-26: The design and depositon of optical thin film systems
Authors:
Oulehla, Jindřich ; Pokorný, Pavel Document type: Research reports
Year:
2021
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Konstrukce, vývoj a depozice vzorků interferenčních filtrů pomocí technologie vakuového napařování elektronovým svazkem. Depozice je provedena na substráty dodané zákazníkem.Design, development and deposition of interference filters using vacuum electron beam evaporation. The filters are deposited on substrates supplied by the customer.
Keywords:
e-beam evaporation; interference filters; Thin film optics
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0325858