Original title:
Příprava vzorků a jejich měření metodami EDS
Translated title:
Sample preparation and their measurement by EDS methods
Authors:
Kostelník, Tomáš ; Jaššo, Kamil (referee) ; Čudek, Pavel (advisor) Document type: Bachelor's theses
Year:
2022
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[cze][eng]
Tato bakalářská práce je zaměřena na výrobu a analýzu vzorků pomocí energiové disperzní spektroskopie s využitím rastrovací elektronové mikroskopie. V teoretické části jsou popsány hlavní rozdíly mezi enviromentálním rastrovacím mikroskopem a rastrovacím elektronovým mikroskopem. Jsou zde také popsány základní poznatky z oblasti energiové disperzní spektroskopie. Dále je zde vysvětlen vznik a detekce signálů vznikajících při interakci svazku primárních elektronů se vzorkem s důrazem na popis, vznik a rozdělení těchto signálů. V praktické částí je práce zaměřena na výrobu a analýzu experimentálních vzorků.
This bachelor´s thesis is focused on preparation and analysis of samples by energy dispersive spectroscopy using scanning electron microscopy. In the theoretical the main differences between environmental scanning electron microscopy and scanning electron microscopy are described. There is also a description of basic knowledge regarding energy dispersive spectroscopy. The generation and detection of signals arising from the interaction of a beam of primary electrons with a sample is also explained, with emphasis on the description, generation and distribution of these signals. The experimental part is focused on sample preparation and analysis.
Keywords:
electron scattering; elemental microanalysis; energy-dispersive spectroscopy; Environmental scanning electron microscopy; sample preparation; signal electrons; X-ray radiation; energiově disperzní spektroskopie; Enviromentální rastrovací elektronová mikroskopie; prvková mikroanalýza; rentgenové záření; rozptyl elektronů; signální elektrony; výroba vzorku
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/205675