Název:
Studium změn struktury tenkých vrstvev pomocí in-situ spektrofotometrie
Překlad názvu:
Study of the structural changes of thin films by in-situ spectrophotometry
Autoři:
Jakubik, Matej ; Hruška, Petr (vedoucí práce) ; Čížek, Jakub (oponent) Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok:
2021
Jazyk:
slo
Abstrakt: [eng][cze] The focus of this bachelor thesis was on modifying vacuum chamber to study two different physical topics. First was the absorption of hydrogen in metals. Hydrogen ab- sorption was studied on palladium thin films. Palladium was chosen thanks to its high kinetics of hydrogen absorption at room temperature, which leads palladium to be the model system to study hydrogen absorption. Using optical measurement one can study hydrogen absorption for thin films. From the results of optical transmittance measure- ment, it is possible to study the change of atomic ratio between hydrogen and palladium, i.e. phase transformation. The second topic will be the study of the dependence of vari- ous conditions (initial temperature of sample, pressure) on the energy of laser pulse on laser-induced dewetting, i.e. structural changes in thin films caused by laser annealing. Minimal energy needed to initiate dewetting was calculated from one-dimensional heat equation. Minimal energy needed to initiate dewetting was tested implementing various initial temperatures and energy densities. 1Náplňou tejto bakalárskej práce bola úprava vákuovej komory na štúdium dvoch od- lišných fyzikálnych javov a následné štúdium. Prvý z nich je skúmanie absorbcie vodíka v pevnej fázi vo forme hydridov do tenkej vrstvy paládia. Defekty mikroštruktúry sú podstatné pre absorbciu vodíka. Pre túto prácu bolo zvolené paládium, pre ktoré je cha- rakteristická vysoká rýchlosť absorbcie vodíka pri izbovej teplote. Táto vlastnosť pred- určuje paládium ako modelový systém pre štúdium absorbcie vodíka. Pre dostatočne tenké vrstvy je možné skúmať absorbciu vodíka pomocou zmeny optickej transmitancie. Z výsledkov merania optickej transmitancie je analýzou možné sledovať fázové premeny vzorky. Druhá časť bakalárskej práce bola venovaná skúmaniu vplyvu laboratórnych pod- mienok (tlak, teplota) na energiu laseru potrebnú na dekompozíciu spojitej tenkej vrstvy za vzniku nanočastíc na substráte, spôsobenej interakciou vzorky s laserovým pulzom. Z riešenia jednodimenzionálnej parciálnej diferenciálnej rovnice vedenia tepla bola určená minimálna plošná hustota energie laseru potrebná na dekompozíciu tenkej spojitej vrsty. Takto určená minimálna hodnota plošnej hustoty energie bola overená viacerými experi- mentami s rozličnými počiatočnými teplotami a rozličnými plošnými hustotami energie. 1
Klíčová slova:
tenké vrstvy|spektrofotometrie|vakuové systémy|dopování vodíkem|laserové žíhání; thin films|spectrophotometry|vacuum systems|hydrogen loading|laser annealing