Original title:
SMV-2020-31: Návrh a simulace elektronově optických prvků
Translated title:
SMV-2020-31: Electron Optical Elements Design and Simulations
Authors:
Radlička, Tomáš Document type: Research reports
Year:
2020
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] V rámci smluvního výzkum bylo zpracováno několik studií proveditelnosti týkajících se optických vlastností elektronově optických elementů, optimalizace jejich designu a jejich možné integrace do elektronového mikroskopu. To zahrnovalo výpočet vad metodou diferenciálních algeber, výpočet rozlišení pomocí vlnově optických výpočtů a analýzu vad seřízení. Kromě designu jsme se také zabývali možností přípravy optického elementu, jehož součástí je grafénová fólie.The contractual research covered several feasibility studies in the field of electron-optical design and simulations. We studied several electron-optical elements, including calculating the electron-optical properties, optimizing the design, and possible integration into the primary beam column. We used the differential-algebraic method for the calculation of aberrations and wave-optical calculations for the analysis of resolution. We also analyzed the effect of misalignment aberrations. Besides the electron-optical design, we studied the possibility of the construction of the element with graphene foil.
Keywords:
aberrations; electron optical design; resolution
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0314445