Original title:
Depozice CaF2 ultratenkých vrstev na grafenový substrát
Translated title:
The deposition of CaF2 ultrathin layers on graphene substrate
Authors:
Caesar, Radek ; Nebojsa, Alois (referee) ; Mach, Jindřich (advisor) Document type: Master’s theses
Year:
2020
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství Abstract:
[cze][eng]
Tato diplomová práce se věnuje přípravě a analýze ultratenkých vrstev CaF2 (fluoridu vápenatého). CaF2 byl deponován napařováním v podmínkách UHV za teploty substrátu v rozsahu 20 °C až 400 °C. Depozice probíhala na Si(111) substrát s nativní vrstvou SiO2 a na substrát doplněný o CVD grafenovou vrstvu. Připravené ultratenké vrstvy byly analyzovány pomocí metod XPS, AFM a SEM. V rámci této práce byly rovněž navrhnuty čtyři různé nosiče vzorku pro účely depozice.
This master’s thesis is focused on preparation and analysis of ultrathin CaF2 (calcium fluoride) films on a graphene substrate. CaF2 was deposited in UHV conditions at substrate temperatures in the range from 20 °C to 400 °C. The material was deposited on Si(111) with a native SiO2 layer and on a substrate with a CVD graphene layer. The deposited films were analyzed by XPS, AFM and SEM. Moreover four different sample holders for deposition purposes were designed in this work.
Keywords:
CaF2; calcium fluoride; deposition; graphene; MBE; sample holder; UHV; ultrathin film; CaF2; depozice; fluorid vápenatý; grafen; MBE; nosič vzorku; UHV; ultratenká vrstva
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/192368