Název: Double-Beam Mach-Zehnder Interferometer Forthin Piezoelectric Films Measurement
Autoři: Skalský, Michal
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Jazyk: eng
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: This paper describes a Mach-Zehnder double-beam interferometer for measurement of piezoelectric films thickness displacement. The measurement of the sample from both sides with probing beam leads to suppression of bending effect, which can otherwise strongly degrade the results acquired by other methods. The performances of the setup were tested on a reference PZT sample. The measured piezoelectric coefficient was in agreement with its theoretical value. The described setup utilizes minimal number of the optical components which are necessary for controlled phase drift compensation. Further techniques for performance enhancement are also proposed.
Klíčová slova: double-beam; Laser interferometry; Mach-Zehnder interferometer; thin piezoelectric films
Zdrojový dokument: Proceedings of the 23st Conference STUDENT EEICT 2017, ISBN 978-80-214-5496-5

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/187142

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-414802


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Konferenční materiály > Příspěvky z konference