Název: SMV-2019-63: Systém pro kalibraci měřícího systému PAZ
Překlad názvu: SMV-2019-63: Calibration system of PAZ measuring system
Autoři: Mikel, Břetislav
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2019
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Kalibrační měřící systém je určen pro kalibraci měřícího systému PAZ. Umožňuje interferometricky měřit vzdálenost až 3500 mm s chybou +- 5 um. Využívá metody inkrementální laserové interferometrie. Systém se skládá z několika základních komponent - nosné pojezdové lavice, motorizované posuvné měřící platformy, statické platformy, He-Ne laseru, řídící elektroniky a řídícího PC. Celý systém je vybaven třemi senzory teploty podél měřené trasy, jedním senzorem vlhkosti a jedním senzorem tlaku, které jsou využívány ke kompenzaci měřené vzdálenosti laserovými interferometry. Calibration measuring system is designed for calibration of PAZ measuring system. It allows to measure distances up to 3500 mm with an error of + - 5 µm. It uses incremental laser interferometry method. The system consists of several basic components - supporting traveling benches, motorized sliding measuring platforms, static platforms, He-Ne laser, control electronics and control PC. The whole system is equipped with three temperature sensors along the measured path, one humidity sensor and one pressure sensor, which are used to compensate the measured distance by laser interferometers.
Klíčová slova: environmental error compensation of interferometer; laser interferometry; Michelson interferometer

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0304589

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-409326


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy