Název:
SMV-2019-68: Implementace pokročilého řízení a Implementace opto-mechanického modulu
Překlad názvu:
SMV-2019-68: Implementation of advanced management and Implementation of optomechanical module
Autoři:
Šerý, Mojmír Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2019
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] V průběhu prací smluvního výzkumu byl vytvořen modul pro dynamickou detekci vertikální polohy substrátu založené na kvadraturní detekci astigmatických vlastností svazků laserových diod a modul pokročilého řízení expoziční dávky pro zápis ve vektorovém režimu. Oba moduly byly implementovány do aparatury a jejich funkce ověřena.During the contract research work, a module for dynamic detection of vertical position of the substrate based on quadrature detection of astigmatic properties of laser diode beams and a module for advanced exposure control for writing in vector mode were created. Both modules were implemented in the apparatus and their function verified
Klíčová slova:
detection; laser; optics
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0303770