Original title: Electric probe diagnostics of the hollow cathode plasma jet system for TiO.sub.x./sub. thin films deposition
Translated title: Sondové diagnostiky plazmatického tryskového systému s dutou katodou pro depozice tenkých vrstev TiO.sub.x./sub..
Authors: Virostko, Petr ; Hubička, Zdeněk ; Kment, Štěpán ; Adámek, Petr ; Jastrabík, Lubomír ; Tichý, M.
Document type: Papers
Conference/Event: International conference on phenomena in ionized gases - ICPIG /28./, Praha (CZ), 2007-07-15 / 2007-07-20
Year: 2007
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
Electric probe diagnostics were used to determine plasma parameters of the low pressure low temperature hollow cathode plasma jet system used for TiOx thin films depositions. Lagmuir probe measurements provided electron energy probability function, electron density, and effective electron temperature in the plasma jet for different working conditions. They were compared with measurements of the positive ion current to the negatively biased substrate. The substrate was biased with pulsed DC or RF voltage. Sondové diagnostické metody byly použity k určení parametrů plazmatu nízkotlakého nízkoteplotního plazmatického tryskového systému s efektem duté katody, používaného pro depozice tenkých vrstev TiOx. Pomocí Langmuirovy sondy byla získána rozdělovací funkce elektronů, koncentrace elektronů a jejich efektivní teploty pro různé pracovní podmínky. Získané parametry byly porovnány s měřením proudu kladných iontů na depoziční substrát s negativní predpětím. Na substrát bylo přivedeno pulzní DC nebo radiofrekvenční napětí.
Keywords: hollow cathode; Langmuir probe; plasma jet; probe diagnostics
Project no.: CEZ:AV0Z10100522 (CEP), KAN400720701 (CEP), GA202/06/0776 (CEP)
Funding provider: GA AV ČR, GA ČR
Host item entry: International conference on phenomena in ionized gases- ICPIG /28./, ISBN 978-80-87026-01-4

Institution: Institute of Physics AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0171892

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-40123


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Physics
Conference materials > Papers