Original title: Wien Filter Electron Optical Characteristics Determining Using Shadow Projection Method
Translated title: Měření elektronově-optických vlastností Wienova filtru stínovou metodou
Authors: Horáček, Miroslav ; Vlček, Ivan ; Zobač, Martin
Document type: Papers
Conference/Event: International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /11./, Skalský dvůr (CZ), 2008-07-14 / 2008-07-18
Year: 2008
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
Wien filter is suitable for the separation of the primary and the signal electron beams in very low energy scanning electron microscope with cathode lens. We have modified the two-grid shadow method to determine experimentally electron optical properties (cardinal elements and aberrations) of the Wien filter, which is not a rotationally symmetric element. We call the modified method the shadow method with grid and moving screen. The advantage of the shadow method is its geometrical simplicity allowing the comparison of the experimentally obtained and numerically computed trajectories. Wienův filtr je možné použít jako separátor primárního a signálního svazku elektronů ve velmi nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu s katodovou čočkou. Abychom mohli experimentálně určit elektronově-optické vlastnosti Wienova filtru, který je rotačně nesymetrickým prvkem, modifikovali jsme stínovou dvoumřížkovou metodu na metodu s mřížkou a pohyblivým stínítkem. Výhodou této metody je její geometrická jednoduchost, která umožňuje porovnání experimentálně získaných a numericky spočítaných trajektorií.
Keywords: shadow method with grid and moving screen; two-grid shadow method; Wien filtr
Project no.: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), IAA100650803 (CEP)
Funding provider: GA AV ČR
Host item entry: Proceedings of the 11th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 978-80-254-0905-3

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0165649

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-39448


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers