Název:
How to Prevent Hydrocarbon Contamination in SEM
Překlad názvu:
Prevence tvorby uhlovodíkové kontaminace v SEM
Autoři:
Dvořáková, Marie ; Mika, Filip Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /11./, Skalský dvůr (CZ), 2008-07-14 / 2008-07-18
Rok:
2008
Jazyk:
eng
Abstrakt: [eng][cze] Electron beam-induced contamination is one of the most undesirable effects in SEM. In this work the contamination was formed on silicon wafer, copper, aluminium, stainless plate and nickel samples. The contamination was removed by the plasma cleaning (XEI Scientific Evactron De-Contaminator).Kontaminace indukovaná elektronovým svazkem je jedním z nežádoucích efektů v SEM. V této práci byla kontaminace tvořena na vzorcích křemíku, mědi, hliníku, oceli a niklu. Kontaminace byla odstraněna metodou plazmového čištění (XEI Scientific Evactron De-Contaminator).
Klíčová slova:
contamination; Evactron; plasma cleaning; scanning electron microscope Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP) Zdrojový dokument: Proceedings of the 11th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 978-80-254-0905-3
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0165648