Original title: Importance of nucleation phase in microwave PECVD of ultra -nanocrystalline diamond films
Translated title: Důležitost vlivu nukleační fáze na vlastnosti nanokrystalických diamantových vrstev připraveným metodou PECVD
Authors: Zajíčková, L. ; Karásková, M. ; Jašek, O. ; Buršíková, V. ; Franta, D. ; Matějková, Jiřina ; Klapetek, P.
Document type: Papers
Conference/Event: New Perspectives of Plasma Science and Technology, Brno (CZ), 2007-10-23 / 2007-10-25
Year: 2007
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
Microcrystalline diamond finds several applications due to its high hardness but also as electronic and optical devices. However, its roughness makes some applications like tribology, emission cathodes for flat panel displays, optical coatings and emerging Nano/Micro-Electro-Mechanical Systems (N/MEMS) difficult. A major advance was achieved in early 90ties when the crystalline size was decreased from down to nanometers. However, the processes leading to the deposition of small grain-sized diamond films are not yet properly understood and these films exhibit different properties and morphology depending on the method of preparation. Therefore, the nanocrystalline diamond (NCD) covers very different materials such as columnary grown films with the grain sizes usually quoted below 100 nm (but 30 nm are nowadays possible)and continuous dense coatings with grain sizes reaching 5-15 nm grown under high re-nucleation rates. Mikrokrystalické diamantové vrstvy našly značné uplatnění a to nejen díky své velké tvrdosti, ale také elektrickým a optickým vlastnostem. Jejich vysoká drsnost je však překážkou pro jejich uplatnění v dalších aplikacích jako je tribologie, autoemisní katody, optické vrstvy a Nano/Mikro mechanické systémy. Výrazným úspěchem v této oblasti bylo na počátku 90. let dosažení zmenšení jednotlivých krystalů na úroveň několika nanometrů. Proces depozice nanokrystalických vrstev však není dodnes zcela uspokojivě vysvětlen a vlastnosti vrstev se značně liší v závislosti na depozičních podmínkách. Proto se lze také pod pojmem nanokrystalický diamant setkat se širokou škálou vrstev se sloupcovitou strukturou se zrny 30 až 100 nm nebo kompaktními vrstvami velmi malých krystalů o velikosti 5- až 15 nm.
Keywords: hardness; nanocrystalline diamond; optical constants; plasma enhanced CVD
Project no.: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), GA202/05/0607 (CEP)
Funding provider: GA ČR
Host item entry: New Perspectives of Plasma Science and Technology - International Workshop for Students and Young Researchers, ISBN N

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0160982

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-38806


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers