Název:
Detekce sekundárních elektronů v REM
Překlad názvu:
Detection of secondary electrons in SEM
Autoři:
Konvalina, Ivo ; Hovorka, Miloš ; Wandrol, P. ; Mika, Filip ; Müllerová, Ilona Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Mikroskopie 2008, Nové Město na Moravě (CZ), 2008-02-07 / 2008-02-08
Rok:
2008
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Tři systémy detektorů sekundárních elektronů byly simulovány za účelem zjištění, která část emitovaných sekundárních elektronů je detekována.The three detection systems of secondary electrons were simulated in order to determine which part of the emitted SEs is collected.
Klíčová slova:
detection systems; secondary electrons; SEM Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP) Zdrojový dokument: Mikroskopie 2008, ISBN N
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0160920